PLUTO-M 小型实验室桌面等离子清洗机PLUTO-M

经过多年技术创新和积累，小型实验室桌面等离子清洗机PLUTO-M创新性将真空式等离子体技术应用于各种不同领域的研究型操作平台，除了实现常规清洁样品和表面改性的功能外，通过添加不同的功能模块，可以实现等离子体镀膜，等离子体合成反应，等离子体纯化等功能，大的拓展该设备的应用领域。

沛沅仪器是一家集等离子体技术设计、制造、产品开发、销售与服务于一体的技术型企业，公司致力于提供专业的等离子表面处理系统，向用户提供国内领先的等离子表面处理设备和优质专业的服务。 公司技术团队67%以上具备硕士或硕士以上学位，公司由长期从事等离子体应用技术研究开发、多次参与国家重大科学工程研究的专家和产业化专家联合创建，提供一系列等离子体表面处理系统、等离子体刻蚀系统、常压等离子清洗设备等，并与中科院上海应用物理研究所，复旦大学，中国科技大学，上海科技大学，上海交通大学等建立了密切的技术合作交流关系。 公司的愿景是成为全球等离子体应用领域的优质供应企业，用科研的沉淀和应用的创新，为中国的制造业崛起和全球化战略贡献一份力量。

小型实验室桌面等离子清洗机PLUTO-M典 型 应 用

污染物清洗

清洗玻璃、金属、陶瓷、塑料等材料表面的有机物及其他污染物

表面活化

利用等离子体轰击样品表面，改变样品表面张力和活性

镀膜
采用等离子断键功能的专用装置，将镀膜材料以纳米级厚度均匀覆盖样品表面

等离子体刻蚀

对半导体材料、集成电路板、PCB板、塑料制品等材料进行刻蚀

等离子体反应

特别的工艺手段和装置，可以实现等离子体与样品的化学反应，并得到相应物质

粉体处理

粉体专用装置，可实现纳米级颗粒的等离子体均匀处理，实现各项性能

可 选 配 置
纯铝腔体	间距可调电
等离子体发生器	RF 13.56MHz 300W/500W,自动阻抗匹配电源
气体收集装置	用于收集等离子体化学反应后的气体
小型氧气发生器	用于制备氧气，可取代氧气罐
气体混合装置	可根据客户要求进行混气设计
加热电模块	电可以加热，室温-200℃可调
光谱仪模块	可增加光谱仪的接口，检测等离子体光谱变化
电转换模块	可自由变换电设计，样品可放在射频电上，也可以放在地电上，从而实现不同的处理效果

控制等离子浓度和方向

通过转换电正负和电之间距，可控制等离子体浓度和反应方向

加热电模块

温度可控，可以加速等离子体处理速度和大提高样品处理的均匀性

沉积镀膜模块，改变表面特性

沉积CF材料，样品表面可以具有憎水的特性

沉积含苯材料，样品表面起到缘防水的特性

沉积含有羟基的材料，提高样品表面和其他材料的结合效果

化学反应
气体纯化和使用等离子体与相关材料进行化学反应

粉体处理装置
用于处理微纳米级别颗粒

感应耦合模块
感应耦合等离子体装置

小型实验室桌面等离子清洗机PLUTO-M

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