URE-2000A型 光刻机

光电URE-2000A型光刻机度高，尺寸丰富，运动行程多样化等特点。

苏州汶颢微流控技术股份有限公司是一家留学人员回国创业的高新科技企业，集研发、生产、销售为一体，技术力量雄厚，生产设备先进，检测手段齐全，产品质量过硬。公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心，配置了三条微流控芯片生产 线，包括数控CNC微加工仪器，软刻蚀有机芯片加工系统，光刻-掩模无机芯片加工系统，可以加工生产所有材质的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种，以及各类科研类芯片，并在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的领先地位，申请国家专利89项，其中授权20余项，已经获批注册商标2件，软件著作权7件，江苏省高新技术产品3项，建立企业标准5项。

苏州汶颢微流控技术股份有限公司提供的产品和服务按市场可分为科研类芯片、仪器标配芯片、应用类芯片及系统和芯片实验室解决方案。科研类芯片服务于基于微流控芯片的科研工作者，提供包括聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、玻璃及硅基等各种不同材质的微流控芯片的设计与制备，用户只需配置必要的辅助设备即可使用；仪器标配芯片是针对国内市场上微流控芯片仪器开发的标准芯片，为微流控芯片仪器的核心组件，属耗材类产品，如毛细管电泳芯片；应用类芯片及系统是利用微流控芯片的技术优势开发的分析检测装置，应用于环保、食品安全、药物筛选等领域；芯片实验室解决方案为客户提供完整的一对一的微流控芯片科研或应用的解决方案，分为产品和科技咨询两个方面：产品包括微流控芯片加工、检测仪器设备配置及微流控芯片配件配置；科技咨询为客户提供组建芯片实验室的整体方案、解决微流控芯片应用中的技术难题、微流控芯片项目研发服务等。

  按照现代公司制度规范运作企业是公司创办伊始就秉承的基本理念，目前，公司的团队结构、人事制度、财务制度、知识产权制度等都已经逐步形成和完善。公司的口号：高品质、高信誉、高效率。公司的宗旨：以发明创新为龙头，以科技成果转化为手段，以微流控芯片领域为主战场，走科研成果商品化，商品产业化，产业规模化和国际化的道路，以自主创新的核心技术为基础的竞争战略为企业长期发展战略，整合产业链的各项优势资源，打造以自主创新为企业特色的产业价值链，塑造民族品牌，迎接国际化的挑战。

光刻机
产品名称：

光电URE-2000A型光刻机

             光刻机

光电URE-2000A型光刻机度高，尺寸丰富，运动行程多样化等特点。

光刻机产品特点：

◆ 曝光面积：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）

◆ 对准精度：0.6μm

◆ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围）

◆ 掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大胶厚：500m(SU8胶，用户提供匀胶条件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞灯功率：1000W（直流）

◆ 曝光设定方式：定时（方式0.1s-999.9s任意设定）

◆ 外形尺寸:1400mm（长）1200mm(宽) 2150mm（高）

 

光刻机技术参数 配置:

（1）曝光头

◆冷光椭球镜

◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

◆XYZ汞灯调节台

◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1

、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片

、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

◆冷却风扇

◆循环水冷系统

（2）对准工件台

◆掩模样片整体运动台

◆掩模样片相对运动台

◆转动台

◆样片调平机构,自动完成

◆样片调焦机构，自动调

◆承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

◆光源（配备品2只）、电源

◆双目双视场对准显微镜主体

◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

（4）CCD对准系统

◆光源（配备品3只）、电源

◆成像光学系统

◆数据采集卡

◆CCD

（5）电控系统

◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

◆单片机控制系统

◆控制柜桌

◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)

（6）气动系统

◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

◆电磁阀驱动

◆气动仪表

（7）其他附件

◆真空泵一台（无油泵）

◆空压机一台（静音泵）

◆管道

（8）技术资料

◆使用维修说明书

◆显微镜使用说明书

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