产品简介
多级脉冲电源采用3U半机箱设计,整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号,响应速度快,信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。
公司简介
吉兆源科技有限公司是一家致力于射频技术领域生产和研发的高科技技术企业。 公司主要研发和生产射频电源、射频自动匹配器及溅射用直流电源。
吉兆源与国外知名射频企业保持着深层次的技术交流,真正了解国外射频技术核心,吉兆源采取灵活的合作模式,国内外工程师平均设计经验年限都大于15年,已经形成有别于其他国内射频电源公司的差异化竞争优势。并在延续、吸收国外设计理念、技术的基础上研发出了国内自己的射频产品,使公司成为国内真正搞自主研发并成功为国内客户替换掉了多款国外射频产品的高新技术企业,并为国内生产的高端设备射频电源的国产化提供了可靠的国内方案。
公司产品设计理念起步于国外半导体领域,立足于国内工业生产应用,成功迎合本土化需求,多年参与半导体设备射频电源设计、调试和服务。具有丰富的半导体设备服务能力,也以此保证了公司产品的顶端优势。
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产品说明
多级脉冲电源TI-3013&TI-6013
该多级脉冲电源采用3U半机箱设计,整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号,响应速度快,信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。
应用特征
多级脉冲电源主要应用对象包括:刻蚀、ICP、 PECVD。
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