13.56MHz射频电源（大功率）

13.56MHz射频电源（大功率）输出功率可达2500W到5000W ，频 率13.56MHz，标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。其固态设计使得该产品价格低、可靠性高。电源采用大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数，同时还可以显示匹配器的运行参数并且通过电源面板可操作射频匹配器。

吉兆源科技有限公司是一家致力于射频技术领域生产和研发的高科技技术企业。 公司主要研发和生产射频电源、射频自动匹配器及溅射用直流电源。 吉兆源与国外知名射频企业保持着深层次的技术交流，真正了解国外射频技术核心，吉兆源采取灵活的合作模式，国内外工程师平均设计经验年限都大于15年，已经形成有别于其他国内射频电源公司的差异化竞争优势。并在延续、吸收国外设计理念、技术的基础上研发出了国内自己的射频产品，使公司成为国内真正搞自主研发并成功为国内客户替换掉了多款国外射频产品的高新技术企业，并为国内生产的高端设备射频电源的国产化提供了可靠的国内方案。 公司产品设计理念起步于国外半导体领域，立足于国内工业生产应用，成功迎合本土化需求，多年参与半导体设备射频电源设计、调试和服务。具有丰富的半导体设备服务能力，也以此保证了公司产品的顶端优势。

产品性能

该13.56MHz射频电源（大功率）输出功率可达2500W到5000W ，频 率13.56MHz，标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。其固态设计使得该产品价格低、可靠性高。
13.56MHz射频电源（大功率）采用大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数，同时还可以显示匹配器的运行参数并且通过电源面板可操作射频匹配器。

应用对象

该13.56MHz射频电源（大功率）可以作为射频驱动等离子体系统的电源，该系统可应用于半导体工业。应用对象包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、磁控溅射、CVD、PVD、等离子清洗和PECVD等系统。

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