UTA 系列 LED显微曝光系统

LED显微曝光系统显微镜LED 曝光系统 UTA 系列

无锡浩辉者新材料科技有限公司依靠多年材料特性研究的经验及对检测设备及技术的研发与应用，为客户提供材料检测分析仪器及方法。让客户深入了解全面的分析技术，以及其性能限制，为客户的分析需求选择适合的分析仪器。与此同时，我们会帮助辅导客户完成整个分析过程，得到客户所需要的答案及结果。也可依顾客需求，提供完整专业的系统解决方案。目前服务于各大专院校、研究机构、产业界研发单位和具备自主研发能力的大型企业，期望对国内外的科研及产业尽一份心力。

LED 显微曝光系统
显微镜LED 曝光系统 UTA 系列
介绍：
1)显微镜 LED曝光系统 UTA系列，为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。
2)使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机，即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。
3)Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。
4)可在一般环境操作，样品外观及尺寸限制小，价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高，可以大幅降低研发成本。

特色：
√使用显微镜和 DLP 组合之曝光系统，可比既有系统拥有更具竞争性之价格。
√软件操作简便，可以自由绘制曝光Pattern。
√透过物镜倍率选择，调整曝光范围大小与分辨率。
√可以制造微米等级尺寸的 Pattern 。

使用案例：
形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料之电极。
Mo 原石取出薄片，形成原石特性评估的电极。

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