NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机:先进的全自动溅射系统带有水冷或者加热（可加热至700度）功能；8“旋转样平台,可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月，是服务大中华区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室，提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国，该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商，已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终维持高水平的集成度。

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点：

• 不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

• 70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

• 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

• 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

• 带观察视窗的腔门易于上下载片

• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

• 带密码保护功能的多级访问控制

• 完全的安全联锁

  
  

  

  
  

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机选配项：

• 向上、向下或侧面溅射

• RF、DC以及脉冲DC溅射

• 共溅射、反应溅射

• 组合溅射

• RF或DC偏压（1000V）

• 样品台可加热到700°C

• 膜厚监测仪

• 基片的RF射频等离子清洗

• 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

  
  

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机应用：

• 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

• 光学以及ITO涂覆

• 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

• 带RF射频等离子放电的反应溅射

  
  

型号：

• NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统

• NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统

• NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统

• NSC-1000：半自动控制的台式系统

(以下为双系统型号)

• NSR-4000：溅射/RIE系统

• NSP-4000：溅射/PECVD系统

• NST-4000：溅射/热蒸发系统

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