NOC-4000光学镀膜系统

NOC-4000光学镀膜系统概述：NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月，是服务大中华区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室，提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国，该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司，是一家的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备，正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD，用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD，溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅)，热蒸发和电子束蒸发，离子束刻蚀和反应离子刻蚀，原子层沉积，兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商，已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务工程师、技术支持人员，使得公司拥有的服务团队。作为薄膜工艺的设备提供商，我们的目标是提供高品质的服务并始终维持高水平的集成度。

NOC-4000光学镀膜系统概述：NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。

 

NOC-4000光学镀膜系统应用：

• 光学涂层

• 溅射

• 离子束辅助沉积

• 离子束刻蚀清洗

• 离子束辅助反应刻蚀

• 红外涂层

• 表面处理

 

NOC-4000光学镀膜系统产品特点:

• 射频偏压样品台

• 膜厚监测仪

• 极限真空5x10-7Torr

• 高精度及高重复性

• 高品质膜层

• 原子级的洁净表面

• 原子级清洗和抛光

• 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

• 自动上下载片

• 两个腔体之间自动传送

• 菜单驱动，4级密码访问保护

• 完整的安全联锁

• 占地面积46”D x 44”W

 

NOC-4000光学镀膜系统选配项:

• 向下/向上溅射

• 共溅射

• DC，RF以及脉冲电源

• 离子束辅助沉积

• 电子束源

• 等离子源

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