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超小型真空探针台，迷你型探针台只有大小，手动调节探针，底部可透光，测试光谱，
.探针台与测试仪器配接后可用于集成电路芯片及各种晶体管芯的电参数测试及功能调试，适用于科研、新品试制及小批量生产的中间测试
温度范围: 77degK ~ 480degK
‧ 探针座数量: 4~6sets
‧ 宽敞的工作间距
‧ 针座精度10um
‧ 真空泵浦: 10^-3 torr (机械泵)/10^-6 torr(分子泵)
‧ 温度控制器
‧ Thermo-couple @ certain position & Thermo-meter
‧ 50L氮气瓶
‧ 液态氮/气态氮连接阀
组件：温度可低至-190℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Tor。超小型真空探针台应用：可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，
超小型真空探针台KT-Z4019MRL4T
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真空腔体 |
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类型 |
高温型室温到350℃ |
高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ |
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腔体材质 |
304不锈钢 6061铝合金 可选 |
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腔体内尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
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腔体外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
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腔体重量 |
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG |
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腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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腔体抽气口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体真空测量口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体进气口 |
6mm快拧 或 6mm快插 |
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腔体冷却方式 |
腔体水冷+上盖气冷 |
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腔体水冷接口 |
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腔体正压 |
≤0.05MPa |
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腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
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样品台 |
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样品台材质 |
不锈钢 银铜合金 纯银块 |
银铜合金 纯银块 |
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样品台尺寸 |
26x26mm |
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样品台加热方式 |
电阻加热 |
电阻加热 液氮制冷 |
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样品台-视窗 距离 |
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） |
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样品台测温传感器 |
PT100型热电阻 |
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样品台温度 |
室温到400℃ |
室温到400℃ 室温到-196℃ |
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样品台测温误差 |
±0.5℃ |
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样品台升温速率 |
高温100℃/min 低温7℃/min |
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温控仪 |
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温度显示 |
7寸人机界面 |
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温控类型 |
标准PID温控 +自整定 |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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温控精度 |
±0.5℃ |
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温度信号输入类型 |
PT100 （可选K S B型热电偶） |
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温控输出 |
直流线性电源加热 |
直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
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辅助功能 |
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 |
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温控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
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温控器重量 |
约5.6KG |
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探针 |
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电信号接头 |
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
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探针数量 |
4探针（可扩展5探针） |
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探针材质 |
镀金钨针 （其他材质可选） |
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探针尖 |
10μm |
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手动探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
20mm ±10mm（需手动推动滑台） |
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X轴控制精度 |
≥500μm |
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R轴移动行程 |
120° ±60°（需手动旋转探针杆） |
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R轴控制精度 |
≥500μm |
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Z轴移动行程 |
2mm ±1mm |
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Z轴控制精度 |
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） |
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