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2路质量流量计500w等离子清洗机，2路质量流量计500w等离子清洗机
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
2路质量流量计500w等离子清洗机
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供电电源 |
AC220V（AC110V可选) |
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工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射频电源功率 |
500W可调 |
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射频频率 |
40kHz |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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真空度 |
≤30Pa |
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腔体容积 |
5L(内径 152mmX 深度 280mm) |
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载物规格 |
125mmX260mm |
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气体流量 |
0—50ml/min（其他量程可选） |
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气体路数 |
2 路质量流量计+精密流量控制阀 |
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过程控制 |
自动控制 |
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清洗时间 |
手动开关 |
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开盖方式 |
铰链侧开式法兰 |
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真空室温度 |
小于65°C |
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外形尺寸 |
450 |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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标配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台 |
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