邦达 河南邦达电气镀膜系列磁控溅射镀膜仪

用电阻电离一体化真空规管读取真空度；阀门采用电磁驱动挡板阀和手动限流阀

郑州邦达电气有限公司(以下简称“邦达电气”)是研发、生产和销售为一一体的高新技术企业，为高等院校及科研院所提供高温热处理设备及个性定制方案。 邦达电气坐落在郑州高新技术产业开发区电子电器产业园,是国内专业从事高温管式炉，高温箱式炉, pecvd系统,等离子清洗设备，磁控溅射设备， 实验室智能化解决方案等实验室的专业设计制造厂家。 本公司以市场、研发、服务为核心,组建了支跨学科的、 流的技术团队，在智能实验室领域处于地位

1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构
机械泵+分子泵（国产或进口可选）， 极限真空优于8*10-5Pa（设备空载抽真空24h），大气~8*10-4Pa≦30min；采用电阻电离一体化真空规管读取真空度；阀门采用电磁驱动挡板阀和手动限流阀
蒸发源采用3组水冷铜电极，蒸发电源采用2KW逆变式电源，配源间防污隔板可拆卸式，尺寸60*60mm，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃，可选水冷或是带角度调节功能的基片台可选配进口或国产膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空L60cm×W60cm×H96cm 机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口

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