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上海伯东代理连续式多腔磁控溅镀设备

伯东企业（上海）有限公司

会员指数：

企业认证：

价格：电议

所在地：上海

型号：

更新时间：2022-12-09

浏览次数：689

公司地址：上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室

13918837267 叶小姐(女士) 销售工程师

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产品简介

上海伯东代理的连续式多腔磁控溅镀设备可精确控制其溅镀制程条件, 为客户提供更优质的薄膜, 广泛应用于纳米研究技术, 材料研究, 氧化物, 氮化物和金属材料的研究, 太阳能电池和触碰萤幕等行业.

公司简介

伯东企业（上海）有限公司专业代理各国知名真空产品位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业（上海）有限公司创建于1995年12月，是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业，公司注册资金为200万美元，到目前为止公司从业员工有400多人。
伯东企业（上海）有限公司 (www.hakuto-vacuum.cn）专业销售及维修德国Pfeiffer单双级旋片泵，干泵，罗茨泵，分子泵；应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管)；检漏仪，质谱仪，真空系统等等, 维修技术力量雄厚，保证 100 % 拥有标准的德国Pfeiffer原厂测试设备及调整工具和德国Pfeiffer专业培训工程师，多年来致力于真空系统的安装、调试、维修、拆机、保养等，具有优良的专业技能和服务意识，并获得原厂授权维修资质证书。利用 Pfeiffer 进口检测设备对维修后的产品做全方位性能测试。另外公司还代理美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源，HVA 高真空阀门。
公司一直坚持品质一、信誉至上的原则，为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、ISO9001－2000质量体系认证、ISO14001－1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本，不断开拓进取的精神，为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。

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产品说明

连续式多腔磁控溅镀设备 In-Line sputter
上海伯东代理的连续式多腔磁控溅镀设备可精确控制其溅镀制程条件, 为客户提供更优质的薄膜, 广泛应用于纳米研究技术, 材料研究, 氧化物, 氮化物和金属材料的研究, 太阳能电池和触碰萤幕等行业.

In-Line 的溅镀沉积是指基板在一个或多个溅镀阴极下方以线性的方式通过以获取其薄膜沉积. 其基板沿着轨道穿过各个真空腔内. 其电浆产生器有许多种类并且每一种都可使用, 例如射频电源, 直流电源或脉冲直流电源. 还可以容纳诸如溅镀蚀刻, 基板加热或电浆清洗之类的可选步骤, 并且具有完整的仪器和控制装置可用于金属导电薄膜, 电介质, 光学薄膜或其他溅镀应用.
连续式多腔磁控溅镀设备配置和优点
客制化基板尺寸最大为 1100 x 1300 mm²（玻璃）
薄膜均匀度小于 ±5％
高沉积速率 ≥ 250nm/min 和高效率阴极
溅镀功率: 射频5Kw, 直流或脉冲直流 20kW
具有高均匀的气体分布的流量控制器
稳定的温度控制, 可将基板加热到 400°C
水平或垂直溅镀
连续式多腔磁控溅镀设备

腔体
客制化的腔体尺寸取决于基板尺寸和其应用
具有显示功能的全量程真空计和用于压力控制的 Baratron 真空计
腔体的极限真空度约为10^-7 Torr
选件
基板载台回流线
自动传送机构
OES, RGA 或制程监控的额外备用端口
应用领域
纳米研究技术
产品质量控制和质量检查
材料研究
太阳能电池
触碰屏幕
TFT-LCD
氧化物, 氮化物和金属材料的研究

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86                    M: +886-939-653-958
                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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