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上海伯东代理剥离成形电子束蒸镀设备

伯东企业（上海）有限公司

会员指数：

企业认证：

价格：电议

所在地：上海

型号：

更新时间：2022-12-09

浏览次数：656

公司地址：上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室

13918837267 叶小姐(女士) 销售工程师

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产品简介

上海伯东代理剥离成形电子束设备可以精准的控制蒸发速度, 因此薄膜厚度和均匀度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 最大直径可达 12寸晶圆, 腔体的极限真空度约为 10-8 Torr.

公司简介

伯东企业（上海）有限公司专业代理各国知名真空产品位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业（上海）有限公司创建于1995年12月，是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业，公司注册资金为200万美元，到目前为止公司从业员工有400多人。
伯东企业（上海）有限公司 (www.hakuto-vacuum.cn）专业销售及维修德国Pfeiffer单双级旋片泵，干泵，罗茨泵，分子泵；应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管)；检漏仪，质谱仪，真空系统等等, 维修技术力量雄厚，保证 100 % 拥有标准的德国Pfeiffer原厂测试设备及调整工具和德国Pfeiffer专业培训工程师，多年来致力于真空系统的安装、调试、维修、拆机、保养等，具有优良的专业技能和服务意识，并获得原厂授权维修资质证书。利用 Pfeiffer 进口检测设备对维修后的产品做全方位性能测试。另外公司还代理美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源，HVA 高真空阀门。
公司一直坚持品质一、信誉至上的原则，为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、ISO9001－2000质量体系认证、ISO14001－1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本，不断开拓进取的精神，为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。

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产品说明

剥离成形电子束蒸镀设备 Lift-Off E-beam Evaporation System
对于有些金属, 我们很难使用蚀刻 Etching 方式来完成想要的电路图案 Circuit Pattern时, 就可以采用 Lift-Off 制程来做出想要的金属图案. 在此过程中, 电子束蒸发于在基板表面上沉积所需的薄膜层于牺牲层与基材上, 最终在洗去牺牲层, 以得到其电路图案.
上海伯东代理剥离成形电子束设备可以精准的控制蒸发速度, 因此薄膜厚度和均匀度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 最大直径可达 12寸晶圆, 腔体的极限真空度约为 10^-8Torr.
剥离成形电子束设备 Lift-Off E-beam
针对 Lift-Off 制程设计载台水冷或液态氮冷却
Lift-Off 制程步骤:

1. 准备基板
2. 牺牲薄膜层的沉积
3. 对牺牲层进行图案化 (例如蚀刻), 以形成反向图案
4. 沉积目标材料
5. 洗去牺牲层以及目标材料的表面
6. 最终图案层：
①基材
②牺牲层
③目标材料
Kri 离子源

Lift-Off 制程步骤:

上海伯东剥离成形电子束设备配置和优点
客制化的基板尺寸, 最大直径可达 12寸晶圆
薄膜均匀度小于±3％
水冷坩埚的多组坩锅旋转电子束源 (1/2/4/6坩埚)
自动镀膜系统
具有顺序操作或共沉积的多个电子束源
基板具有冷却 (液态氮温度低至-70°C)功能
腔体
客制化的腔体尺寸取决于基板尺寸和其应用
腔体最高可至 650 mm
腔体的极限真空度约为 10^-8Torr
选件
可以与传送腔, 机械手臂和手套箱整合在一起
应用领域
Lift-Off 制程
对传统热蒸发技术难以实现的材料蒸发, 可采用电子束蒸发的方式来实现. 不同于传统的辐射加热和电阻丝加热, 高能电子束轰击可实现超过 3000℃ 的局域高温, 这使得绝大部分常用材料都可以被蒸发出来, 甚至是高熔点的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯东代理的电子束蒸发源可承载 1-6种不同的材料, 实现多层膜工艺; 蒸发源本身防污染设计, 使得不同材料之间的交叉污染降到最低.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86                    M: +886-939-653-958
                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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