产品简介
BTE-PECVD是我公司研发的一款单温区的PECVD管式炉系统
公司简介
郑州邦达电气有限公司(以下简称“邦达电气”)是研发、生产和销售为一一体的高新技术企业，为高等院校及科研院所提供高温热处理设备及个性定制方案。
邦达电气坐落在郑州高新技术产业开发区电子电器产业园,是国内专业从事高温管式炉，高温箱式炉, pecvd系统,等离子清洗设备，磁控溅射设备， 实验室智能化解决方案等实验室的专业设计制造厂家。
本公司以市场、研发、服务为核心,组建了支跨学科的、 流的技术团队，在智能实验室领域处于地位
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产品说明
BTE-PECVD是我公司研发的一款单温区的PECVD管式炉系统，它是由射频电源系统，加热系统、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个很好的实验帮手。产品特点
1.该设备生长温度更低
2.使用滑轨炉实现快速升温和降温，沉积速率快
3.设备辉光均匀等效，均匀生长，成膜质量好
4.支持外部真空规和压力变送器
5.支持智能进气，根据需要设定不同的温度，自动进气，进气定时间到后自动停止进气
6.支持云端数据存储，随时查看数据
7.支持炉膛移动速度调节
8.支持射频电源根据外部工况条件自动启动停止
9.支持压力恒定，压力可以设定
10.支持超压保护，最大压力值可以设定，超过后系统自动进入保护状态
本页产品地址：http://www.geilan.com/sell/show-9328001.html
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