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价格:电议
所在地:上海
型号:HCP421SV-MPS
更新时间:2021-04-30
浏览次数:883
公司地址:上海市徐汇区漕宝路400号1604室
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周辉(女士)
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功能特点 |
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mimi型温控探针台,可集成到各种光学设备 |
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可编程控温,涵盖-190℃~1000℃(具体由型号而定) |
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适用 10 mm ~ 50 mm 晶圆和器件 |
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可抽真空的腔体,亦可充入保护气体使用 |
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独立的四个探针,可从设备外部移动探针进行点针 |
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可从温控器或电脑软件控制,可提供软件SDK |
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*可做定制或改动,详询上海恒商 |
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温控参数 |
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温度范围 |
-190℃~400℃(负温需配液氮制冷) |
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加热块材质 |
银 |
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传感器/温控方式
升温速率 |
100Ω铂RTD / PID控制(含LVDC降噪电源) 120℃/min(at 100℃) |
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温控速度 |
±0.01℃/min |
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温度分辨率 |
0.01℃ RTD传感器 |
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温度稳定性 |
±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) |
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软件功能 |
可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线 |
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电学参数 |
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探针 |
默认为铼钨材质的弯针探针 |
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探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式,微调行程2mm |
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点针 |
从外部移动点针,每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
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探针接口 |
默认为BNC接头,可选三同轴接口 |
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样品台面电位 |
默认为电接地,可选电悬空(作背电极),可选三同轴接口 |
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光学参数 |
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适用光路 |
反射光路 |
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窗片 |
可拆卸与更替的窗片 |
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物镜工作距离 |
12 mm *截面图中WD |
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上盖窗片观察 |
窗片范围φ50mm,视角±40° *截面图中θ1 |
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负温下窗片除霜 |
吹气除霜管路 |
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结构参数 |
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适用样品 |
10 mm ~ 50 mm 直径 (标准) |
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样品腔高 |
8 mm |
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探针座 |
可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式,XY粗调20mm XY微调行程10mm,Z微调 3mm |
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气氛控制 |
真空腔,也可充入保护气体 |
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外壳冷却 |
可通循环水,以维持外壳温度在常温附近 |
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台体尺寸/重量 |
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
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配置列表 |
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基本配置 |
真空型台式探针台、mK2000B温控器 |
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可选配件 |
安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、 真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线 |
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可选型号 |
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TP102SV-MPS |
温度范围 -40℃ ~ 180℃,样品区,40mm*40mm |
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HCP421SV-MPS |
温度范围 -190℃ ~ 400℃,样品区 28mm*30mm |
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HCP402SV-MPS |
温度范围 -190℃ ~ 400℃,样品区 50mm*50mm |
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HP1000SG-MPS |
温度范围 35℃ ~ 1000℃,样品区 25mm*25mm,气密腔室 |
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定制型号 |
按客户需求定制,适用300mm晶圆样品 |
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典型应用 |
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表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试 |
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需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的 |
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需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的 |
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需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的 |
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晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试 |
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测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率 |
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