ZNR-1A/1B 薄膜方块电阻测试仪

是否提供加工定制否类型数字式电阻测量仪表 品牌ACEGEM型号ZNR-1A/1B 测量范围10-5 ------1.9*

是否提供加工定制	否	类型	数字式电阻测量仪表
品牌	ACEGEM	型号	ZNR-1A/1B
测量范围	10-5 ------1.9*105 Ω?cm (ZNR-1B)（MΩ）	测试电压	AC 220V ±10% 50/60Hz.（V）

www.ace-gem.com卓耐科技ZNR-1A/1B

膜方块电阻测试仪主要用来测量硅外延层、扩散层和离子注入层、导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。它由电气测量部份（简称：主机）、测试架、四探针头及专业测量软件组成

使用范围

u适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业

u适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业

u适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业

u适用于科研部门、高等院校及需要量程测量电阻率的企业

产品特点

u可测方块电阻：适合检测硅芯，检磷棒，检硼棒，籽晶等圆柱晶体硅

u适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业

u适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业

u适用于光伏拉晶铸锭及IC半导体器件企业

u适用于科研部门、高等院校及需要量程测量电阻率的企业

u测试量程大，高端电阻率测试仪

u主机配置了“小游移四探针头”保证了一起数据的准确性

u仪器消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响，因此测试精度大大提高

u测量精度高，除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能

u独特的设计能有效消除测量引线和接触电阻产生的误差，实现了测量的和宽的量程范围

u双数字表结构使测量更，操作更简便

u具有强大的测试数据查询及打印功能

u测量系统可实现自动换向测量、求平均值、zui大值、zui小值、平均百分变化率等

u四探针头采用进口红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性大大提高

u采用进口元器件，留有更大的安全系数，大大提高了测试仪的可靠性和使用寿命

u测量电流采用高度稳定的特制恒流源（万分之五精度），不受气候条件的影响

u具有正测反测的功能，保证测试结果的准确性

u具有抗强磁场和抗高频设备的性能

技术参数

测量范围	10-5 ------1.9*105Ω•cm (ZNR-1B) 10-4------1.9*104Ω•cm(ZNR-1A)
可测硅棒尺寸	zui大长度300mm；直径20mm（均可按用户要求更改）
输出电流	DC0.001-100mA五档连续可调测量范围：0-199.99mV
灵敏度	10μA
输入阻抗	1000ΩM
电阻测量误差	各档均低于±0.05%
供电电源	AC 220V ±10% 50/60Hz.
推荐使用环境	温度：23±2℃相对温度：≤65%

本页产品地址：http://www.geilan.com/sell/show-851081.html