仪器性能

方阻测量范围：1×10-5～2×106Ω/□，小分辨率1×10-5Ω/□；

电阻率测量范围：1×10-6～2×105Ω·cm或1×10-8～2×103Ω·m，小分辨率1×10-6Ω·cm或1×10-8Ω·m；

探针压力：25g～250g；

探针曲率半径：25μm～450μm

（注：探针压力及曲率半径可根据薄膜材料性能及用户需求定制）；

测试电流分7档：1μA、10μA、100μA、1mA、10 mA、100 mA、1000 mA；

测试电压：（1μA～10 mA档）12～80V连续可调

           （100mA档）    8～36V连续可调

          （1000mA档）    8～15V连续可调；

测量方式：手动或自动（配置测试软件）；

测量对象：导电薄膜、半导体薄膜、电力电容器铝箔、各种金属箔、银浆涂层、锂电池隔膜等各种电子薄膜；各种半导体材料的电阻率。