C50M 热式气体质量流量计

气体质量流量计（Mass Flow Meter，简称MFM）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行测量。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJT10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。

北京迈测仪器有限公司主要从事热式质量流量控制器、热式质量流量计、科氏质量流量计、气体混合配比仪的研发、制造、销售以及相关服务。 同时我们还提供以下产品：不锈钢管、管件接头、阀门、仪表、分析仪器、工业过程控制装置等。 此外，我们还提供气路管路工程服务：管路设计，管路焊接，管路安装，管路检漏，管路系统的维护和检修。 我们的产品广泛应用于石油、化工、生物医药、医疗、微电子、太阳能光伏等领域，以及大学实验室、中国科学院研究所、标准检测机构等部门，深受广大客户的肯定及认同。 北京迈测仪器有限公司坚持“品质服务，追求卓越”的经营理念，不断优化结构、壮大求实，为用户提供更优良的产品和更高效的服务。

概要

气体质量流量计（Mass Flow Meter，简称MFM）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行测量。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。

本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJT10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。

MFC/MFM出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)，SLM (标准升/分)

标准状态规定为：温度---273.15 K（0℃），气压—-101325 Pa（760mm Hg）

F.S.（Full Scale）：满量程值

产品特点

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟数字信号转换器（ADDA转换器）配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。

输入输出信号

0～+5.00V (无输入信号，输出电流不大于3mA)

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