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价格：电议
所在地：上海
型号：
更新时间：2014-06-17
浏览次数：1226
公司地址：上海市徐汇区漕宝路400号1604室
周辉(女士)
可编程控温，范围 -100℃ ～ 310℃
表面温度梯度低
的真空吸气槽，适应不同尺寸晶圆
尺寸超薄，可集成进探针台
支持顶杆孔
三轴（可选），用于防漏电
卡盘台面不接地
可控升温/降温速度
夹盘上下表面的真空吸气槽（可选）
样品尺寸范围12 mm ~ 304 mm
技术参数
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温度分辨率 |
0.01℃，100℃时（需使用mK1000） |
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温度稳定性 |
±0.01℃，100℃时（需使用mK1000） |
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温度均匀度 |
±0.1℃ /厘米 （能达到的zui高温度均匀度） |
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zui小制冷/制热速度 |
±0.1℃ /小时 |
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温度方式 |
PID控制开关，追加线性直流电源（可选） |
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温度传感器 |
100 Ω 铂质RTD传感器 |
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表面光滑度 |
10 µm，环境温度下 |
型号信息
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尺寸 |
型号1, 2, 3 |
样品zui小/大直径 |
温度范围4 |
zui大制热速度 |
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150 mm |
HCC206R, HCC206RT |
12 mm 152 mm |
-100℃ ～ 200℃ |
+60℃/分钟，100℃时 |
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150 mm |
HCC306R, HCC306RT |
12 mm 152 mm |
-100℃ ～ 310℃ |
+60℃/分钟，100℃时 |
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200 mm |
HCC208R, HCC208RT |
40 mm 203 mm |
-80℃ ～ 200℃ |
+50℃/分钟，100℃时 |
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200 mm |
HCC308R, HCC308RT |
40 mm 203 mm |
-80℃ ～ 310℃ |
+50℃/分钟，100℃时 |
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300 mm |
HCC20CR, HCC20CRT |
95 mm 304 mm |
-60℃ ～ 200℃ |
+30℃/分钟，100℃时 |
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300 mm |
HCC30CR, HCC30CRT |
95 mm 304 mm |
-60℃ ～ 310℃ |
+30℃/分钟，100℃时 |
1夹盘上下表面的真空吸气槽（可选）
2 支持Swagelok接口（可选）
3 支持顶杆孔（可选）
4 若要低于环境温度则需制冷配件（可选）
配件信息
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配件 |
说明 |
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mK1000 （可选） |
请参阅mK1000温度控制器章节（了解如接口信息） |
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LN2-SYS |
液氮制冷配件，请参阅LN2-SYS章节选择您需要的规格 |
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WPC3A/WPC3U |
115V 或 230V 循环水泵系统，能将样品腔快速制冷至5℃ |
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WP115F/WP230F |
115V 或 230V 循环水泵，用于冷却冷热台外壳 |
订货信息 – 150 mm 晶圆夹盘
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部件编号 |
说明 |
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HCC206R-mK1000A |
HCC206R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC206R-mK1000U |
HCC206R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC206RT-mK1000A |
HCC206RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC206RT-mK1000U |
HCC206RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC306R-mK1000A |
HCC306R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC306R-mK1000U |
HCC306R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC306RT-mK1000A |
HCC306RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC306RT-mK1000U |
HCC306RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
订货信息 – 200 mm 晶圆夹盘
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部件编号 |
说明 |
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HCC208R-mK1000A |
HCC208R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC208R-mK1000U |
HCC208R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC208RT-mK1000A |
HCC208RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC208RT-mK1000U |
HCC208RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC308R-mK1000A |
HCC308R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC308R-mK1000U |
HCC308R圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC308RT-mK1000A |
HCC308RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC308RT-mK1000U |
HCC308RT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
订货信息 – 300 mm 晶圆夹盘
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部件编号 |
说明 |
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HCC20CR-mK1000A |
HCC20CR圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC20CR-mK1000U |
HCC20CR圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC20CRT-mK1000A |
HCC20CRT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC20CRT-mK1000U |
HCC20CRT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC30CR-mK1000A |
HCC30CR圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC30CR-mK1000U |
HCC30CR圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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HCC30CRT-mK1000A |
HCC30CRT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
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HCC30CRT-mK1000U |
HCC30CRT圆形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
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