匀胶机又称旋涂机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、真空镀膜机
匀胶机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺,主要应用于溶胶-凝胶(sol-gel)实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关
匀胶机旋涂仪 可设定存储7个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
匀胶机旋涂仪 每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的速度状态;
匀胶机旋涂仪 液晶显示屏可以实时显示:
1. 第N个涂敷工艺过程
2. 所处工作段
3. 真空吸片状态。
4. 设置时间;及实时运行时间。
5. 设置速度;及实时速度状态。
中英文两套操作系统供选择。
人机交互式对话,简洁,明了
匀胶机旋涂仪器空吸片系统安全:
匀胶机旋涂仪安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。
匀胶机旋涂仪 变频调速电机,转速高:
300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
高转速10000转/分
匀胶机旋涂仪 不锈钢机壳 NPP材质工作腔
不锈钢机壳,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
匀胶机旋涂仪 NPP材质工作腔。
匀胶机旋涂仪 单相交流电源:220V.50Hz
匀胶机旋涂仪 电机功率:150W
匀胶机旋涂仪 旋转真空吸盘直径:4英寸
基片直径10—150mm可接受订货。
转数:300 - 10000 转/分。
可设定时间:1---9999秒。
