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椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号:HAD-SGC-1A

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  • 更新日期:2018-11-19 10:05
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详细介绍

产品介绍:
指标:

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量zui小值

1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2

6

游标zui小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg

 
 
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