SMC洁净气体过滤器SF系列资料下载 ，SMC办事处

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类型 系列/CAD 使用压力 过滤精度
卡盘式
圆盘式 SFA100/
200/300 Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盘式
直筒式 SFB100 Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)

特长
可更换滤芯的卡盘式。
一次性使用式
直筒式 SFB300 Max.15MPa
(真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多层盘式 SFC100 Max.1.8MPa
(真空：1.3×10-6kPa)
特长
用于半导体工艺的一次性使用式。
卡盘式
直筒式
洁净气体滤网 SFB200 Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa) 120μm
SFA100
SFA200
SFA300
SFB100
SFB100-02
SFB101-02
SFB104-M5
SFB200-02
SFB201-02
SFB202-02
SFB300-02
SFB302-02
SFC102-03