用于测量毛细管或其它小孔零件的流通能力。
指标
流量测量范围：0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM
流量测量范围：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）
压力测量范围：0~0.4, 0~1, 0~1.6 MPa
压力测量精度：0.25，0.4级
系统单点漏率：1×10-7SCCS He
供电电源： ~220VAC±10%
zui大功耗 15 W
外形尺寸 440×260×260mm
重量 8 Kg
流量测量范围：0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM
流量测量范围：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）
压力测量范围：0~0.4, 0~1, 0~1.6 MPa
压力测量精度：0.25，0.4级
系统单点漏率：1×10-7SCCS He
供电电源： ~220VAC±10%
zui大功耗 15 W
外形尺寸 440×260×260mm
重量 8 Kg
