TSV-1200 磁控溅射镀膜机

用途：磁控溅射PVD镀膜，氮化钛(TiN)、氮碳化钛(TiCN)、氮化锆(ZrN)、氮化铬(CrN)、氮化铝钛(T

利方达(香港)有限公司于2002年创建。公司目前集中了一批多年从事真空镀膜专业的技术人员和经验丰富的市场销售人员,现已经发展成为由利方达(香港)有限公司,深圳市利方达科技有限公司,利方达科技北京办事处组成 的，集真空产品研发,生产及贸易以及维修服务为一体的企业集团 。
 

 

 

我们的业务专长于真空及镀膜设备领域的代理销售业务，致力于把世界上最先进的技术和设备引进中国.凭借多年的真空专业技术积累, 雄厚的技术力量和真诚的服务, 我们得到了业界的众口称赞,拥有了大量的客户群体, 产品广泛用于真空,光学、电子、半导体、平板显示等相关领域.
　
主要业务包括代理销售国外知名产品:美国AE(Advanced Energy)公司的电源产品(射频电源、中频电源、直流电源)及流量产品(气体质量流量计、质量流量控制器);瓦里安公司真空产品(分子泵,机械泵,干泵,真空计,检漏仪,各种真空阀门,和检漏系统); 美国泰利玛科公司(Telemark)的电子枪和光学膜厚控制仪等;英国等离子快思特公司(PLASMA QUEST)和美国QUEST公司的镀膜设备, 美国安斯超科学公司(Angstrom)的磁控溅射阴极,溅射靶材 ，以及椭偏膜厚测量仪；美国Ferrolab 公司的各种磁流体密封馈入件;台湾立耀公司(REYO)的快速测量光谱仪;核心麦克劳德(Essential Macleod)光学薄膜分析与设计的软件;瑞士英福康等产品。
　
主要代理业务 ：
1、美国AE(Advanced Energy)射频电源、中频电源、直流电源、质量流量控制器。

2、美国Varian分子泵、扩散泵、干泵、氦质谱检漏仪、真空规管、真空阀门、真空法兰。
3、美国Telemark电子枪、超低温冷阱、880型石英晶体膜厚控制仪、晶振片。
4、瑞士Inficon氦质谱检漏仪、真空规管、压强控制仪、真空阀门、真空法兰、四级质谱仪。
5、美国Angstrom Sciences 溅射阴极和靶材、阴极翻新。
6、美国Angstrom Advanced 椭圆偏振膜厚测量仪。
7、美国Semicore公司Mark50镀膜机、In line磁控溅射镀膜机。
8、美国Maxtek石英晶体膜厚控制仪、晶振片、压电阀。
9、光学镀膜机、磁控溅射镀膜、PECVD、真空排气台、RGA残余气体分析仪、非标真空设备的开发及生产。
　
维修业务：
1，MAXTEK MDC-360C石英晶控仪；
2，真空泵的维修保养；(旋片泵、罗茨泵、干泵等)
3，质量流量计的维修；
4，真空计的维修保养；
5，残余气体分析仪(RGA)的维修保养。

 

我们的经营理念是：顾客至上, 诚信热情、 静心聆听，不断完善。我们以诚信和良好的售后服务赢得了广大客户的肯定和信任,期待您的来电咨询及业务洽谈,谢谢 ！

用途：磁控溅射PVD镀膜，氮化钛(TiN)、氮碳化钛(TiCN)、氮化锆(ZrN)、氮化铬(CrN)、氮化铝钛(TiAIN)、碳化钛(TiC)等
基材：不锈钢,锌合金,塑料
应用：外壳，MP3外壳，数码相机外壳，各种标牌的装饰改性加硬镀膜
颜色：白色，金色， 银色， 黑色 ， 兰色等
基本参数：
1、真空室尺寸：1210mm(直径)×1200mm(高)；
2、抽气时间速：大气到5×10-3Pa≤20min (空载, 冷态,洁净)；
3、zui高烘烤温度:300℃
4、极限真空：优于1×10-3Pa；
5、采用侧面对开门方式,便于工件装卸；
6、3只观察窗口，左右门上各一个，室体正前方一个；
7、2台φ400mm口径分子泵、1台ZJP300型罗茨泵， 2台2X-70型机械泵抽气；
8、一套公、自转工转机构，采用下驱动方式的二维平面行星机构；自转轴20根；
9、所有驱动引入采用带水冷套磁流体密封；
10、四对磁控溅射靶平行安装且成圆周分布，靶材尺寸：910mm×120mm(长×宽)；
11、4路进口质量流量计进气；
12、预溅射小车挡板，控制预溅射工艺；
13、三台30KW中频电源及一台30KW脉冲偏压电源；
14、控制系统采用触摸屏上位机(工控机)+下位机(PLC)的控制形式
15、控制系统有手动和自动，全系统具有互保护, 泵阀互锁。

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