CS200（A）数字式 CS200（A）数字式气体质量流量控制器（MASS FLOW CONTROLLER）

是否提供加工定制否品牌CS200（A）数字式气体质量流量控制器（MASS FLOW CONTROLLER） 型号CS200（A）数字式测量

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是否提供加工定制	否	品牌	CS200（A）数字式气体质量流量控制器（MASS FLOW CONTROLLER）
型号	CS200（A）数字式	测量范围	w
测量精度	w	产品用途	气体质量流量控制器

仪器简介：

CS200(A）:高产品
，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm
橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet

技术参数：

型号	CS200（A）
流量规格（N2）	( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM （0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1sec
阀类型	Normally Closed or Normally Open
工作压差范围	(0.05～0.35) Mpa（≤10slm） （0.1～0.35) Mpa（20slm，30 slm） (0.2～0.45) Mpa（50 slm） ＜0.02MPa
温度系数	Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃
zui大工作压力	3MPa
零漂	＜0.6%F.S. per year without autozero
漏率	1×10-9 atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
密封材料	Viton;Neoprene
表面粗糙度	25Ra
工作环境温度	（5～45）℃
输入信号	Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC or (4～20)mA
输出信号	Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC and (4～20)mA
电源	±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)
电气连接	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male
标准接头形式	VCR1/4” M；SwagelokΦ3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal
重量	1kg

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