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价格：电议
所在地：河南 郑州市
型号：NBD-PECVD1200-50T2-N
更新时间：2024-09-18
浏览次数：606
公司地址：新郑市新华办竹园8号
司合军(先生)
双炉膛滑轨式PECVD主要特点：
1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；
2. 上开启式结构，方便观察试样；
3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；
4. 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果；
5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量。
双炉膛滑轨式PECVD配置参数：
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产品型号 |
NBD-PECVD1200-50T2-N |
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电气规格 |
AC220V 3KW 射频功率：300或500瓦 13.56Mhz |
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| 可达温度 |
1200 ℃ （<1小时） |
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连续温度 |
1100 ℃ （连续） |
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可达加热速率 |
≤20 ℃/分钟 |
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加热区长度 |
200mm+200mm（两个加热温区分别加热，分体式设计使温度梯度可以达到极限） |
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炉管尺寸 |
Φ50*1800mm |
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