产品简介
我公司研发生产的CVD系统集真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产,各款管式炉
公司简介
郑州邦达电气有限公司(以下简称“邦达电气”)是研发、生产和销售为一一体的高新技术企业,为高等院校及科研院所提供高温热处理设备及个性定制方案。
邦达电气坐落在郑州高新技术产业开发区电子电器产业园,是国内专业从事高温管式炉,高温箱式炉, pecvd系统,等离子清洗设备,磁控溅射设备, 实验室智能化解决方案等实验室的专业设计制造厂家。
本公司以市场、研发、服务为核心,组建了支跨学科的、 流的技术团队,在智能实验室领域处于地位
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产品说明
我公司研发生产的CVD系统集真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产,各款管式炉,气路系统和真空机组可多种方式组合,真空泵、阀均采用进口产品,性能。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。产品特点1.该设备生长温度更低2.使用滑轨炉实现快速升温和降温,沉积速率快3.设备辉光均匀等效,均匀生长,成膜质量好4.支持外部真空规和压力变送器5.支持智能进气,根据需要设定不同的温度,自动进气,进气定时间到后自动停止进气6.支持云端数据存储,随时查看数据7.支持炉膛移动速度调节8.支持射频电源根据外部工况条件自动启动停止9.支持压力恒定,压力可以设定10.支持压保护压力值可以设定过后系统自动进入保护状态
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