ICP-500T 太阳能电池等离子刻蚀机

◆ 外形尺寸(不包括报警灯) 1350(W)800(D)1750(H)mm ◆ 仓体结构(铝，约125升) 500(W)500(D)500(H)mm ◆旋转平台 Φ 400mm ，

公司成立于1995 年，是专业从事真空及大气低温等离子体（电浆）技术、射频及微波等离子体技术研发、推广、销售于一体的高新技术企业，隶属于戈德尔等离子科技（香港）控股有限公司，总部设于香港 。

生产工厂位于“中国金都”之称的山东招远市经济开发区，占地 20000 平方米 ，建有10000 平方米的生产厂房和科研中心，公司主导产品有：等离子清洗机、等离子刻蚀机、等离子表面处理设备、电浆清洗改质机及常压等离子打磨、抛光系统。公司品牌商标为：“戈德尔-Guarder”，引进德国的等离子体应用技术,其系列产品覆盖全国大部分省市，并出口北美、澳洲、中东、东南亚等地区。

招远普斯玛，作为等离子清洗机专业制造企业，是ISO9001认证企业，公司拥有世界的低压及常压等离子表面处理技术，并有完备的生产加工设备，可为客户提供特殊定制服务及短交期，已成为国内具规模化生产能力的全系列等离子表面处理设备公司。

◆ 外形尺寸(不包括报警灯)  

1350(W)×800(D)×1750(H)mm

 ◆ 仓体结构(铝，约125升)

500(W)×500(D)×500(H)mm

 ◆ 旋转平台

Φ 400mm ，转速可调节  ◆ 等离子发生器(美国)

频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80

二级泵/ 英国爱德华罗茨泵  EH250(70L/S)  

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器     

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

 ◆ 充气系统

美国MKS电子质量流量计(四路气体配制)

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件

 
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