3英寸 铟（In）靶材

铟（In）靶材是高纯度的铟金属构成的银色光泽的灰色靶

北京金源新材科技有限公司（Beijing Jinyuan Advanced Materials Technology Co.,Ltd.）坐落于中关村科技园区，是一家专注服务于新材料行业的高新技术企业。这些技术将帮助中国新材料行业用户大幅提高溅射靶材利用率、提高镀膜材料的镀膜效果，研发和生产出高质量的产品。   金源新材科技公司作为中关村科技园区新材料领域具实力的公司之一，通过与科研院所的联合研发和广泛的合作，公司为各科研院所、企业、高校等提供专业优质的溅射靶材、镀膜材料、高纯材料、粉体材料、稀土材料以及蒸发源材料等产品。产品广泛应用于航空航天、太阳能光伏企业、光学镀膜、熔炼、电子信息、半导体集成电路、平板显示、记录介质、工件表面涂层等领域。

铟（In）靶材是高纯度的铟金属构成的银色光泽的灰色靶。它的熔点156.61℃，沸点2060℃，密度7.3 g / cm3。 质地非常软，能用指甲刻痕，可塑性强，有延展性，可压成片，易熔金属。其显著特征之一是能够粘附在玻璃和其他类似表面上。铟化合物在真空下蒸发，在电子产品和光伏电池生产中形成薄膜。纯铟在半导体中用作薄膜层。

铟溅射靶材制作工艺

备料 - 熔炼 - 化学分析 - 锻造 - 轧制 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 包装

铟（In）靶材制备工艺

检查背板并清洁背板的外表面；将背板固定于可控温平板加热炉的平板上；将挡板固定于背板的上表面的四周缘以形成由背板和挡板围成的上端开口的容置腔；设定可控温平板加热炉的温度为预热温度以预热背板；将铟锭样品加入可控温熔料浇注炉中，设定可控温熔料浇注炉的加热温度以将铟锭样品熔化为铟液；将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中；将容置腔中的铟液上面漂浮的杂质清理干净；使可控温平板加热炉停止对容置腔中的铟液加热；在室温下冷却容置腔中的铟液以使铟液固化在背板上而形成下层为背板、上层为固体铟的铟靶材；待铟液固化后将挡板松开并移除，将铟靶材取出；将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除；对成型的铟靶材进行超声探伤扫描以检查铟靶材有无缺陷以及背板与固体铟的焊合有无缺陷。铟（In）靶材

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