PECVD设备

Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。

青岛泰斯迈仪器设备有限公司是专业半导体设备公司，有完善的服务和销售体系。专业经营各类进口机械设备,仪器仪表及各种配件的一站式进口产品综合服务商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH卤素检漏仪H25-IR PRO,冷媒回收机,冷媒分析仪;爱发科ULVAC-氦质谱检漏仪;爱发科ULVAC-真空计;爱发科ULVAC-真空泵;新机械NEW-MACHINE-快速接头;神港精机SHINKO SEIKI-真空泵;东洋克斯TOYOX-胶管;康泰克CONTEC-板卡,工控机;大进DAISHIN-自动焊接机,点火器;德国SEW-电机减速机;松村MORESCO-润滑油;出光IDEMITSU-润滑油;

产品简介：
Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。                                     

产品特性：
• 27.12MHz高密度等离子制程
 
• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可对应SiO2膜
 
• 以CF4+O2 Plasma实现腔体清洁功能
 
• 可对应有机EL（OLED）的低温成膜用heater
 
• 使用Tray可搬送多种基板尺寸
 
• 通过使用真空Box实现C系列的间接连续制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

产品应用：
• 功率器件

• LED、LD、高速device等化合物相关

• 有机EL（OLED）开发

• 太阳电池开发

本页产品地址：http://www.geilan.com/sell/show-9170703.html