AFM 原子力显微镜

Nators自主开发SEM兼容的原子力显微镜系统可提供在SEM或FIB内进行原位三维形貌扫描和纳米压痕功能。该系统可兼容大部分SEM或FIB系统，包括桌面型SEM。

上海内诺科技有限公司位于上海浦东张江高科，是一家专业从事研发、销售运动定位平台，纳米科学仪器的高科技企业。 公司研发团队在运动定位，微纳自动化系统集成方面具有十多年的研发和实践经验，专注于光学、显微，半导体、加工等领域，为用户提供专业运动定位系列产品及技术服务和解决方案。

原子力显微镜

Nators自主开发SEM兼容的原子力显微镜系统可提供在SEM或FIB内进行原位三维形貌扫描和纳米压痕功能。该系统可兼容大部分SEM或FIB系统，包括桌面型SEM。

原子力显微镜产品特点：

· 纳米级三维形貌扫描成像分辨率

· 亚纳牛力纳米压痕分辨率

· 结构紧凑、优异的SEM/FIB兼容性

· 可根据用户具体需求提供定制化解决方案

 

原子力显微镜产品应用：

· AFM-SEM综合成像分析（结合AFM功能与SEM分析技术，例如EDX、EBSD）

· 纳米材料力学分析

 

规格参数

概述	技术参数
样品运动行程	10 mm
样品定位分辨率	100 nm
扫描行程	5 um
扫描器运动分辨率	0.1 nm
力感应范围	+/- 100 uN
力感应分辨率	0.5 nN

 

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