GMF-2Z 供气系统

该供气系统是一种可控制二种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

安徽贝意克设备技术有限公司是一家专注于新材料、新能源、高端装备设备的研发生产与一体的高新技术企业，合肥市科技小巨人培育企业。公司拥有多名专家顾问，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司拥有400平米的重点实验室，部分实验室对外开放。公司拥有31项，其中发明6项、实用新型23项、外观2项。涉及领域包括，石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统等。公司产品有智能高低温CVD系统、PECVD系统、各种真空气氛管式炉、高低温箱式炉、等离子清洗设备、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、球磨机、氧化锆齿科烧结炉等。

技术参数：

工作电压：185~245V，50 Hz

最大输出功率：18W

流量计标准量程：100sccm 200sccm 500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）

工作温度：4~45℃

工作压差：0.1~0.5Mpa

最大压力：3Mpa

准确度：±1.5%F.S

压力表测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

针阀：316不锈钢

混气罐：Φ80*120mm

截止阀：Φ6mm

尺寸：600*600*650mm

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