TMC 主动气浮振动阻尼系统

TMC 主动气浮振动阻尼系统特点：1.六自由度主动振动阻尼系统2 .或集成的强力电磁致动器 3. 数字控制器 4. 非接触式电子高度控制阀

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TMC 主动气浮振动阻尼系统

特点：

1.六自由度主动振动阻尼系统

2 .或集成的强力电磁致动器

3. 数字控制器

4. 非接触式电子高度控制阀

优点：

1、减小载荷运动和调整时间
2、更高的分辨率
3、模块化设计允许用户一个完整的单元或组件，方便OEM集成
4、前馈参数自动调节，简化设置

TMC 主动气浮振动阻尼系统

Electro-Damp®是款商业化、主动的隔振系统，专门设计来增加半导体制造应用的分辨率以及产量。Electro-Damp®II是对原始系统wan 全重新的设计，添加了模块、数字控制、前馈控制，强力/高清晰度致动器，以及专门设计用于OEM应用如显微光刻法，检验和计量工具的多个数字用户接口。

半导体制造工具的放置需要隔振系统。针对地板噪声，系统bi 须“软”以便有效过滤地板振动达到隔振效果。同时，系统bi 须“硬”来响应平台受力。

除了利用惯性、主动反馈阻尼，Electro-DampII还使用前馈信息进一步提高系统响应。前馈控制器的工作原理是通过具有平台位置以及加速度信息的平台控制器获得信息，然后经过数据处理后提供力用于驱动负载，大大减少载荷运动。DC2000数字控制器还可以利用平台测试模式自动调节前馈所需的参数。这使得初始安装或改变有效载荷后的设置更加快速和容易。Electro-Damp®II的模块化设计允许系统单独使用电子伺服阀或者电磁驱动，或者对于苛刻的应用程序两者结合使用。

TMC 主动气浮振动阻尼系统
Specifications-

(may vary depending upon configuration)

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