MKS GE50A 微小气体流量控制

GE50A质量流量控制器

GE50A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器，GE50A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。

技术参数：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

控制量程：2% to 的全量程。

测量精度：全量程的1%

灵敏度：全量程的0.1%

热机时间：小于2Min.

响应速度：小于2Sec.

输入电压：±15VDC@100ma

输出电压：0-5VDC

连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

数字：RS485或Device net或Profibus

法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

材质：316不锈钢。