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                  价格:电议
所在地:广东
型号:SCG
更新时间:2023-03-30
浏览次数:1852
公司地址:深圳市宝安区西乡恒丰工业城C1栋3楼

向先生(先生) 经理
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					低温和高温真空探针台
				 
					SEMISHARE真空环境高低温测试技术
				 
					以下两个应用需要真空测试环境。
				 
					低温测试:
				 
					因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
				 
					高温无氧化测试:
				 
					当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 
				 
					晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
				 
					SCG-C-4(闭循环)/SCG-O-4(开循环)特点:
				 
					载物Chuck 温度范围:4K-500K         
				 
					外置4个定位针臂,预留2个
				 
					探针X-Y-Z三方向移动,行程:25.4mm,定位精度:10微米
				 
					多可以外置6个定位针臂
				 
					载物chuck zui大可到8英寸
				 
					双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度
				 
					针臂定位精度可以升级为0.7微米
				 
					可以选择射频配件做zui高67 GHz的射频测试
				 
					可以选择防震桌
				 
					可以选择超高真空腔体,限真空到10-10 torr
				 
					客户订制
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					温控规格:   
				 
 
					机械规格                                
				 
 
					光学部件规格
				 
 
					可选附件
				 
					防震桌
				 
					方形chuck
				 
					分子泵组
				 
					射频部件
				 
					Chuck可外部移动装置
				 
					客户定制。
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 免责声明:以上所展示的[SCG SCG高低温真空探针台---]信息由会员[深圳市森美协尔科技有限公司]自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责。
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