提交询价信息
发布紧急求购
您好,欢迎来到给览网!手机版|本站服务|添加收藏|帮助中心
您所在的位置: 给览网 » 供应 » 实验室常用设备 » 其他实验室常用设备 » SCG SCG高低温真空探针台---

SCG SCG高低温真空探针台---

深圳市森美协尔科技有限公司
会员指数: 企业认证:

价格:电议

所在地:广东

型号:SCG

更新时间:2023-03-30

浏览次数:1852

公司地址:深圳市宝安区西乡恒丰工业城C1栋3楼

向先生(先生) 经理 

产品简介

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

公司简介

深圳市森美协尔科技有限公司(SEMISHARE)致力半导体技术的共享事业,专注于促进中国半导体行业的快速成长,目标成为半导体行业领先的total solution供应商。目前设有半导体仪器营销事业部和半导体设备制造工厂。
SEMISHARE半导体仪器营销事业部代理的设备包括半导体检测设备:SEMISHARE品牌探针台和激光修复仪,I-V/C-V参数测试仪,网络分析仪,激光系统,金相显微镜,EMMI微光显微镜,X射线,C-SAM超声波探测,电子显微镜 。晶圆工艺设备:晶圆键合,去胶,沉积,等离子刻蚀,扩散,氧化炉,匀胶机,光刻机,磁控溅射机台,电子束蒸渡机。
SEMISHARE半导体仪器营销事业部立足中国深圳,香港,北京,上海,西安等城市为全中国半导体行业提供全球最先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务,助力先进技术的研发。
SEMISHARE半导体设备制造工厂总资产达5000余万元,厂房面积约5000平方米,现有员工500余人,其中专业技术人员100余人,公司拥有先进的生产工艺及品控检测,主要设备有:压铸机、精雕机、CNC高光机、光纤激光镭射机、CD纹机、批字机、各种吨位冲床、线割机、CNC加工中心、火花机、各吨位塑胶注塑机、耐磨测试仪、人工汗测试仪等。2009年,我们开始研发制造SEMISHARE品牌探针台和激光修复设备,激光器获得国家专利授权。
SEMISHARE拥有热诚,专业的员工和遍及中国的营销及服务网络,快速响应客户需求,提供客户化的产品和端到端的服务,助力客户的成功。
目前,SEMISHARE的产品和解决方案已经应用于中国100多家客户,服务中国半导体研发机构前50强中的40多家。
展开

产品说明

低温和高温真空探针台
SEMISHARE真空环境高低温测试技术
以下两个应用需要真空测试环境。
低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300,400,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
 
SCG-C-4(闭循环)/SCG-O-4(开循环)特点:
载物Chuck 温度范围:4K-500K        
外置4个定位针臂,预留2
探针X-Y-Z三方向移动,行程:25.4mm,定位精度:10微米
多可以外置6个定位针臂
载物chuck zui大可到8英
双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度
针臂定位精度可以升级为0.7微米
可以选择射频配件做zui高67 GHz的射频测试
可以选择防震桌
可以选择超高真空腔体,限真空到10-10 torr
客户订制
 
 
温控规格:  
控温范围
4K-500K
控温精度
0.001K
温度稳定性
4 K        + - 0.1 K
 
77 K     + - 0.1 K
 
373 K    + - 0.08 K
 
473 K       + - 0.1 K
 
823 K       + - 0.2 K(可选)
 
973 K    + - 1.0K(可选)
常温到8K冷却时间:
1小时40分钟
8K到常温升温时间:
1小时30分钟
 从常温开始的升温时间          
473K       823K        973K
 (4 chuck,单位分:秒)
25:00      55:00        70:00
电源
直流
材质
SS304
功率(4chuck) 
50/100W
      
机械规格                               
 针座行程
 X轴方向
25.4mm(1 inch)
 
可以选择50.8mm 
 Y轴方向
25.4mm(1 inch)
 
可以选择50.8mm 
 Z轴方向
25.4mm(1 inch)
 
可以选择50.8mm 
移动精度
 
 X轴方向
10 micron
 
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Y轴方向
10 micron
 
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Z轴方向
10 micron
 
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 探针可旋转角度(应用于射频测试) 
+-5 
 
 
 
光学部件规格
显微镜X-Y轴方向行程
2"*2"
 
可以选择4"*4"
总共放大倍率
240X
 
可以选择更高倍率
真空腔观察窗口
4 inch
 
外部石英材质99%红外线穿过率
 
内部吸收红外线仅可见光通过
光源
150W可连续调节
双光纤导引
 
 
可选附件
防震桌
方形chuck
分子泵组
射频部件
Chuck可外部移动装置
客户定制。
 

本页产品地址:http://www.geilan.com/sell/show-8020560.html
免责声明:以上所展示的[SCG SCG高低温真空探针台---]信息由会员[深圳市森美协尔科技有限公司]自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责。
[给览网]对此不承担任何责任。
友情提醒:为规避购买风险,建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量!

发布询价单

没有合适的产品?是否在线询价?
询价标题
联系人
电话
主要内容
验证码