实验室特种气体管道工程安装施工
气体管道工程可以分为很多种气体:
(1)毒性气体(Toxic Gas)：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
(3)腐蚀性气体(Corrosive Gas)：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
(4)惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性气体(Oxide Gas)：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。
实验室特种气体管道工程安装有哪些标准：
1、所有气体管道都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成，铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方（比如通风柜）
2、所有的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成，并且都是标准配件。
实验室特种气体管道工程安装施工
3、根据实验室的用气量，计算供气压力、流量和管道的内径，所有气体主管道原则上不低于9.52mm（3/8in，仪器空气主管道直径为12.7mm）。管路末端，原则上不低于6.35mm（1/4in，也可根据实际使用量而定）。
4、所有管路在天花板下面布设，并通过功能柱到中央台。边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。
5、乙炔、氢气等需要和其他气体分开，单独引入。
6、所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时，才可以使用压力配件。
7、每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外，对于供应多台分析仪器的气体管路，另外还需要气体压力控制指示装置。
8、引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。
9、气相色谱工作台上均匀的排放各种气体的出口龙头，管径为3.18mm（1/8in）。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。
10、工作台上气体出口由单独的阀门来控制。
11、所有气体出口为不锈钢阀门。
12、气体管路每隔1.5m的距离，都要有明确表标示，同时指示气体的流向。
13、气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。
实验室特种气体管道工程安装施工 14、每隔1.5m左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。
15、所有弯曲处都要有支撑。
16、所有“U”性弯曲处根据安装情况，需要有支撑。
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