产品简介
meeco tracer水分分析仪,采用的P2Q5水分分析技术,响应速度快,为超高纯的气体的检测提供低成本的解决方案。可以检测到1ppbv
产品说明
meeco tracer水分分析仪,采用的P2Q5水分分析技术,响应速度快,为超高纯的气体的检测提供低成本的解决方案。
meeco tracer水分分析仪的传感器是有嵌入一根中控玻璃管的两组电组成,该两组电上涂布P2O5薄膜,当样品气体以恒定的流速通过传感器时,传感器上的P2O5薄膜会吸收气体中的水分,在两组电通电后,被吸收水分子会被点解从而产生电流。根据法拉第原理,由电流换算出传感器所吸收的水分,即可得测出所采气体中的水分含量。
的气路设计:在进行气体采样时,tracer的旁路系统可自动调节传感器中的水分浓度,使传感器中的水分浓度保持恒定,由此在测量过于干燥的气体时,传感器也不会因过于干燥而发生裂变
气路设计的:1.tracer拥有快的响应速度。2.延长了传感器的使用寿命
tracer的应用:1.半导体制造。2.惰性气体及特殊气体检测。3.研发实验室
仪器特性:模块化配置,低成本使用,操作简便,在线服务,便携性
meeco tracer水分分析仪技术指标
检测范围:
惰性气体:0-2000ppbv
氧气:0-1200ppbV
氢气:0-500ppbv
准确性:
惰性气体模式:读数的4%或4ppb,取zui大值
氢气或氧气模式:当读数小于50ppb时,性是读数的6%或6ppb,取zui大值;当读数大于50ppb时,度是读数的2%或20ppb,取zui大值
测量限:1ppbv
采样气体种类:空气,氮气,二氧化碳,氢气,氧气,氦气,氖气,氩气,四氟化碳,甲烷,非毒性和腐蚀性气体
采样气体进口压力:30-150psig(2-10.2Bar)
流量控制:内含质量流量计控制器,推荐气体流量计在1200SCCM以上
信号输出:0-5V模拟输出,RS-232或者RS485通讯端口
气体接口:1/4VCR
使用环境:10-40°C
仪器尺寸:19(长)X17(宽)X7(高)英寸
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