产品简介
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
公司简介
深圳市理勤实业有限公司成立于深圳市光明新区，我司是一家专注于真空设备的新能源，新材料，新技术，新设备的高新企业。公司拥有一批经验丰富的专业技术人员及售后服务团队，为客户提供最专业的技术指导和优质的售后服务，满足客户对产品的一切需求。专为国内外企业的真空系统设备提供解决方案。专业服务于欧美日韩各大品牌进口真空泵的维修保养及真空系统设计与改装。服务内容有：新品真空泵销售、二手真空泵销售、真空泵维修保养服务、真空设备配件与各式耗材销售、真空系统设计与改装服务。24小时响应客户需求，提供最优质的产品和服务。具体服务内容如下：
一、 新品真空泵销售服务： Edwards爱德华系列，LEYBOLD莱宝系列， HANBELL汉钟系列， ULVAC爱发科系列， BECKER贝克系列，等欧美日韩品牌真空泵。
二、 真空系统设备维修与保养服务：可提供备品机，在不影响生产的同时完成维修保养服务。 维修涵盖：油泵，罗茨泵，干泵， 隔膜泵，碳片泵，呙卷泵，螺杆泵，分子泵，真空计等。品牌服务:Edwards爱德华、LEYBOLD莱宝、ALCATEL阿尔卡特、BECKER贝克、BUSCH普熙、ULVAC爱发科、PFEIFFER普发、ORION好利旺、ULVAC优贝克、Rietschle里其乐、IWATA岩田、HANBELL汉钟、VARIAN瓦里安 、TOKUDA芝浦、HITACHI日立、SHINKO神港精机等。
三、 二手真空泵销售服务：欧美日韩各大品牌进口真空泵。
四、 真空系统设备配件与各式耗材销售：
1: 真空泵维修包:轴承，轴套，油封，O型圈，垫片，橡胶联轴器，旋片，滤芯。2.真空系统管件:波纹管，转接头，法兰，气阀等各种NW,ISO,KF转接头，来图加工非标配件。3. 真空泵油品:FOMBLIN氟素油，Edwards爱德华，MORESC日本松村，TVO-68真空油。4.真空计:PFEIFFER普发，Edwards爱德华，LEYBOLD真空计。
五、 真空系统设计与改装服务。
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产品说明
概述：
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2 激光
功能和
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到zui低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要zui高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是技术设备的制造商所需要的。
技术数据：
容积（工作容积）
50Hz 2590 m3h-1/1525 ft3min-1
60Hz 3110 m3h-1/1830 ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度
E2M175 1750 m3h-1/1031 ft3min-1
E2M275 1900 m3h-1/1119 ft3min-1
泵的压差 ?
50Hz 0-120 mbar/0-90 Torr
60Hz 0-67 mbar/0-50 Torr
入口连接 ISO160
出口连接 ISO100
转速
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
连续入口操作压力 0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口压力 1000 mbar/760 Torr
推荐的后备泵 GXS250，GXS400，E2M175，E2M275
电源供给
50Hz 220-240V/380-415V
60Hz 230V/460V
马达功率
碳氢化合物 11kW/15hp
PFPE 11kW/15hp
ATEX 11kW
防爆型 15hp
环境温度范围
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存储 -10 至 80°C/14 至 176°F
zui大操作湿度 90% RH
推荐的冷却水流量（入口温度 20°C）* 250lh-1/1.1 gal min-1
推荐的冷却水供应压力* 2-6 bar
冷却水接头* 3/8 英寸 BSP 阳螺纹
推荐用油
标准型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6
油容量
齿轮箱 3.5 升
联结器箱 6.5 升
轴杆封口储油器 1.5 升
重量** 401 kg/882 lb
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