产品简介:
ETSys-Map-PV是针对高端薄膜太阳电池研发和质量控制领域中大面积样品检测专门设计的在线薄膜测量系统。
ETSys-Map-PV用于对1.4m * 1.1m及以上的大面积薄膜太阳电池样品进行在线检测。可测量光滑平面或粗糙表面基底上的纳米薄膜,包括单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k;并可同时测量块状材料的折射率n和消光系数k。可测量样品上区域的样品参数以及样品表面的均一性分布。
ETSys-Map-PV融合量拓科技在激光椭偏仪及光伏在太阳能电池领域的技术和产品设计方面的经验,性能。
特点:
大面积绒面样品上全表面测量
可对大面积绒面薄膜太阳电池样品上各点的性质进行分析和比较。的光能量增强技术、低噪声的探测器件以及高信噪比的微弱信号处理方法,实现了对粗糙表面散射为主和低反射率为特征的绒面太阳电池表面镀层的高灵敏检测。
微米量级的积扫描精度
的系统设计,能够使探头到达样品上每个点,扫描精度达到微米量级。
原子层量级的膜厚分析精度
采用非接触、无破坏性的椭偏测量技术,对纳米薄膜达到高的测量准确度和灵敏度,膜厚测量灵敏度可达到0.05nm。
简单方便安全的仪器操作
用户只需一个按钮即可完成复杂的材料测量和分析过程,数据一键导出。丰富的模型库、材料库方便用户进行测量设置。
应用:
ETSys-Map-PV适合于要求的薄膜太阳电池研发和质量控制。
ETSys-Map-PV可用于测量大面积的薄膜太阳电池样品上单层或多层纳米薄膜层构样品的薄膜厚度、折射率n及消光系数k;
ETSys-Map-PV可用于测量块状材料的折射率n及消光系数k;
ETSys-Map-PV可应用于:
大面积薄膜太阳电池基底的材料测量
薄膜太阳电池玻璃基底上透明导电氧化物(TCO)镀膜测量
技术指标:
项目
技术指标
合肥光谱型椭偏仪富锦椭偏仪测量薄膜厚度富锦送货上门多种型号图片
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| 型号:JX200088VP02 真空吸附泵 |
型号:JX200091EX3自动椭圆偏振测厚仪 |
型号:JX200092ETSys-Map-PV在线薄膜测量系统 |
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合肥光谱型椭偏仪富锦椭偏仪测量薄膜厚度富锦送货上门多种型号内容
型号:JX200088VP02 真空吸附泵
VP02是
椭偏仪配套使用的通用微型真空吸附
泵。
VP02与
椭偏仪配合,用于把较薄的样品稳定地吸附到样品台面上,对于倾斜放置的平面样品尤其重要。
VP02采用通用真空
泵部件,具有开关,操作方便。
特点:
吸附力强
限压力可达到-50KPa。
寿命长
使用寿命可达到5000h。
噪声低
噪声小于40dB,采用独特的消声管,可更安静。
体积小
外形体积仅为:130 x 79 x 206mm3。
应用:
VP02用于把较薄的样品稳定地吸附到样品台面上,对于倾斜放置的平面样品尤其重要。
VP02可与台式
椭偏仪配套使用。
VP02也可单独使用。
技术指标:
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项目
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内容
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名称
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微型真空吸附泵
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型号
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VP02
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限压力(KPa)
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-50
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抽气速率(l/min)
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5
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工作周期
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连续
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使用寿命(h)
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5000
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噪声dB(A)
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40
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净重(kg)
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0.88
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体积(mm3)
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130 x 79 x 206
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电压(V DC)
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24
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负载电流(A)
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< 0.23
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栏目页面:http://www.runlian365.com/product/4516.html
光谱椭偏仪
来源网址:http://www.runlian365.com/chanpin/xx-200088.html
VP02 真空吸附泵
型号:JX200091EX3自动椭圆偏振测厚仪
EX3自动椭圆偏振
测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型
教学仪器。与EM22仪器相比,该仪器采用半导体
激光器作为
光源,稳定性好,体积更小。
EX3仪器适用于纳米薄膜的厚度测量,以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。
EX3仪器还可用于同时测
量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。
特点:
经典消光法椭偏测量原理
仪器采用消光法椭偏测量原理,易于理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。
方便安全的样品水平放置方式
采用水平放置样品的方式,方便样品的取放。
紧凑的一体化结构
集成一体化设计,简洁的仪器外形通过USB接口与计算机相连,方便仪器使用。
高稳定性
光源
采用半导体
激光器作为探测光的
光源,稳定性高,噪声低。
丰富实用的样品测量功能
可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率等。
便捷的自动化操作
仪器软件可自动完成样品测量,并可进行方便的测量数据分析、仪器校准等操作。
安全的用户使用权限管理
软件中设置了用户使用权限(包括:管理员、等模式),便于仪器管理和使用。
可扩展的仪器功能
利用本仪器,可通过适当扩展,完成多项偏振测量实验,如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。
应用领域:
EX3适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量,也可用于测
量块状材料的折射率n和消光系数k。
EX3可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳
电池、
光学薄膜、生命科学、化学、电化学、
磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。
技术指标:
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项目
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技术指标
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仪器型号
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EX3
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测量方式
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自动测量
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样品放置方式
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水平放置
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光源
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半导体激光器,波长635nm
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膜厚测量重复性*
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0.5nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)
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膜厚范围
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透明薄膜:1-4000nm
吸收薄膜则与材料性质相关
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折射率范围
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1.3 – 10
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探测光束直径
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Φ2-3mm
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入射角度
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30°-90°,精度0.05°
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偏振器方位角读数范围
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0-360°
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偏振器步进角
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0.014°
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样品方位调整
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Z轴高度调节:16mm
二维俯仰调节:±4°
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允许样品尺寸
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圆形样品直径Φ120mm,矩形样品可达120mm x 160mm
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配套软件
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* 用户权限设置
* 多种测量模式选择
* 多个测量项目选择
* 方便的数据分析、计算、输入输出
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外形尺寸
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(入射角度70°时)450*375*260mm
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仪器重量(净重)
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15Kg
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注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次的标准差。
性能保证:
ISO9001质量体系下的仪器质量保证
专业的仪器使用培训
专业的椭偏测量原理课程
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光谱椭偏仪
来源网址:http://www.runlian365.com/chanpin/xx-200091.html
EX3自动椭圆偏振测厚仪
型号:JX200092ETSys-Map-PV在线薄膜测量系统
ETSys-Map-PV是针对高端薄膜太阳
电池研发和质量控制领域中大面积样品检测专门设计的在
线薄膜测量系统。
ETSys-Map-PV用于对1.4m * 1.1m及以上的大面积薄膜太阳
电池样品进行在
线检测。可测量光滑平面或粗糙表面基底上的纳米薄膜,包括单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k;并可同时测
量块状材料的折射率n和消光系数k。可测量样品上区域的样品参数以及样品表面的均一性分布。
ETSys-Map-PV融合量拓科技在激光
椭偏仪及光伏在太阳能
电池领域的技术和产品设计方面的经验,性能。
特点:
大面积绒面样品上全表面测量
可对大面积绒面薄膜太阳
电池样品上各点的性质进行分析和比较。的光能量增强技术、低噪声的探测器件以及高信噪比的微弱信号处理方法,实现了对粗糙表面散射为主和低反射率为特征的绒面太阳
电池表面镀层的高灵敏检测。
微米量级的积扫描精度
的系统设计,能够使探头到达样品上每个点,扫描精度达到微米量级。
原子层量级的膜厚分析精度
采用非接触、无破坏性的椭偏测量技术,对纳米薄膜达到高的测量准确度和灵敏度,膜厚测量灵敏度可达到0.05nm。
简单方便安全的仪器操作
用户只需一个
按钮即可完成复杂的材料测量和分析过程,数据一键导出。丰富的模型库、材料库方便用户进行测量设置。
应用:
ETSys-Map-PV适合于要求的薄膜太阳
电池研发和质量控制。
ETSys-Map-PV可用于测量大面积的薄膜太阳
电池样品上单层或多层纳米薄膜层构样品的薄膜厚度、折射率n及消光系数k;
ETSys-Map-PV可用于测
量块状材料的折射率n及消光系数k;
ETSys-Map-PV可应用于:
大面积薄膜太阳
电池基底的材料测量
薄膜太阳
电池玻璃基底上透明导电氧化物(TCO)镀膜测量
技术指标:
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项目
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技术指标
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系统型号
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ETSys-Map-PV
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结构类型
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在线式
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激光波长
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632.8nm (He-Ne laser)
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膜厚测量重复性(1)
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0.05nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)
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折射率n精度(1)
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5x10-4 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)
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结构
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PSCA
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激光光束直径
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~1 mm
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入射角度
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60°-75°可选
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样品放置
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放置方式:水平
运动:X轴单方向运动
运动范围:>1.4m
三维平移调节
二维俯仰调节
可对样品进行扫描测量
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样品台尺寸
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1.4m*1.1m,并可定制。
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测量速度
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典型0.6s-4s /点(取决于样品种类及测量设置)
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的膜层厚度测量范围
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光滑平面样品:透明薄膜可达4000nm,吸收薄膜与材料性质相关
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选配件
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样品监视系统
自动样品上片系统
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注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量25次所计算的标准差。
性能保证
高稳定性的He-Ne激光
光源、的采样方法以及低噪声探测技术,保证了系统的高稳定性和高准确度
稳定的结构设计、可靠的样品方位对准,结合的采样技术,保证了快速、稳定测量
一体化集成式的结构设计,使得系统操作简单、整体稳定性提高
一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库,方便用户使用
可选
配件:
NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片
NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片
栏目页面:http://www.runlian365.com/product/4516.html
光谱椭偏仪
来源网址:http://www.runlian365.com/chanpin/xx-200092.html
ETSys-Map-PV在线薄膜测量系统
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合肥光谱型椭偏仪富锦椭偏仪测量薄膜厚度富锦送货上门
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