提交询价信息 |
发布紧急求购 |
号
|
CV-3200S4
|
CV-3200H4
|
CV-3200W4
|
CV-3200S8
|
CV-3200H8
|
CV-3200W8
|
||
CV-4500S4
|
CV-4500H4
|
CV-4500W4
|
CV-4500S8
|
CV-4500H8
|
CV-4500W8
|
|||
测量
范围 |
X 轴
|
100mm
|
200mm
|
|||||
Z1 轴(检出器)
|
60mm (水平位置±30mm)
|
|||||||
Z2 轴 (立柱) 移动范围
|
300mm
|
500mm
|
300mm
|
500mm
|
||||
Z1 轴 (检出器) |
光栅尺类型
|
弧形
|
||||||
分辨力
|
CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm
|
|||||||
测针上/ 下运作
|
弧形移动
|
|||||||
测量方向
|
向前/ 向后
|
|||||||
测针方向
|
CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下单独测量)
CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根据配重调整) |
|||||||
测力
|
CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量)
CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换) |
|||||||
跟踪角度
|
向上: 77º, 向下: 83º(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针*1)
|
|||||||
驱动部 |
长度基准
|
X 轴
|
激光全息光栅尺
|
|||||
Z2 轴 (立柱)
|
ABS 光栅尺
|
|||||||
分辨力
|
X 轴
|
0.05 µm
|
||||||
Z2 轴 (立柱)
|
1 µm
|
|||||||
驱动速度
|
X 轴
|
0 - 80mm/s 外加手动
|
||||||
Z2 轴 (立柱)
|
0 - 30mm/s 外加手动
|
|||||||
测量速度
|
X 轴
|
0.02 - 5mm/s
|
||||||
直线度*2
|
X 轴
|
0.8µm/100mm
|
2µm/200mm
|
|||||
倾角范围
|
X 轴
|
±45º
|
||||||
精度 (20ºC) |
CV-3200 系列 |
X 轴 |
±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm |
±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm |
||||
Z1 轴(检出器)
|
±(1.6+|2H|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm)
|
|||||||
CV-4500 系列 |
X 轴 |
±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm |
±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm)
宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm |
|||||
Z1 轴(检出器)
|
±(0.8+|2H|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm)
|
|||||||
外形尺寸 (W×D×H)
|
主机*3
|
756×482x
966mm |
756×482x
1166mm |
1156×482
x1176mm |
766×482
x966mm |
766×482
x1166mm |
1166×482
x1176mm |
|
重量
|
主机
|
140kg
|
150kg
|
220kg
|
140kg
|
150kg
|
220kg
|