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价格:电议
所在地:广东 东莞市
型号:MX61L
更新时间:2020-11-22
浏览次数:1603
公司地址:东莞长安
李慎和(先生)
MX61L
产品特点:
半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
• 大型载物台搭载: 300mm晶圆检查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
• 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
• 反射光照明
型号 |
MX61L型显微镜 |
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光学系统 |
UIS2光学系统(远校正光学系统) |
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显微镜镜体 |
射光照明(F.N. 26.5) |
12V100W卤素灯泡(预定心型) 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组(选配) ,转换使用 内置电动孔径光阑(每个物镜可预设,物镜转换时自动转换,暗视场观测时自动打开) |
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观测方法 |
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①反射光明视场法;②反射光暗视场法;③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法;④反射光简单偏振法;⑤反射光荧光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明视场法;⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。 |
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观察镜筒 |
超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 |
超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的标准配置) |
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换镜转盘 |
电动五孔明/暗视野法用转盘,配备滑槽用于微分干涉衬比法观测:U-D5BDREMC型 |
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载物台 |
MSS-300A:12寸*12寸,行程:356×305mm 原装日本中央精机2轴电动平台,可以进行XY轴同时联动。 带12寸晶圆载物台板。 |
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内置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz |
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能耗 |
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体积/重量 |
体积:约710(宽)×843(长)×507(高)mm 重量:约51kg(载物台约重31kg) |