美国VAC薄膜沉积系统

1、可连接多个沉积源，沉积源的加载和更换方便；
2、带有可视窗口和易于清洗的钟形玻璃罩；
3、气动升降钟形罩；
4、300 l/s 涡轮泵，爱德华真空泵（RV-8，6.9cfm）；
5、可监控沉积速率和沉积厚度；
6、自诊断、集成触摸屏，控制手套箱、钟形罩和蒸镀，包括自动泵、排气和内部诊断；
7、旋转台高度、倾斜度和旋转速率可调，易于观测，方便更换遮罩、基板；
8、4小时内可达到真空度：5*10-7托；

9、对于许多应用，在20-30分钟内，当真空度达到约5*10-5时，开始沉积；
10、根据用户要求订制。