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净化工程的温湿度要求
松原千级净化工程 长岭净化车间 由净化工程所特别设计的房间,其室内的温湿度标准有一定的使用要求。
净化工程的温湿度要求
先,室内的温湿度主要根据工艺的要求来确定,但是我们同时还要考虑到人的舒适度,因为工作人员总是要在室内工作的,如果温湿度与人体需要的正常温湿度相差过大,很可能对工作人员的身体健康带来影响。
松原千级净化工程 长岭净化车间 其次,由于净化工程主要是用在电子信息、半导体、光电子、制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等领域,而近年来,人们对这些领域的工艺要求越来越高,所以对洁净室内的温湿度控制也越来越高,再加上加工越来越精细,很多加工产品都要求有越来越小的温度波动,否则就会对加工产品的性能带来重大影响。我们以直径为100um的硅片为例,只要温度上升1度,就会引起0.24um的线性膨胀,因此我们要求它必须要有±0.1度的恒温。可见,加工产品对室内的温度要求是为严苛的。
松原千级净化工程 长岭净化车间 室内的温度还会通过人体进而影响到物品,我们以一些怕钠的半导体为例,如果室内温度过高,就会引起人体出汗,而人体出汗所产生的一部分钠,就是我们所俗称的盐分会对半导体带来污染,因此,我们要求它的车间不宜超过25度。
松原千级净化工程 长岭净化车间 室内的湿度控制同样不容忽视,实验证明,当相对湿度超过55%时,冷却水管壁上就会结露,试想如果这种湿度发生在装置或电路中,那不引起一些事故就奇怪了。同时,如果室内湿度过高,还会引起室内工件的清洁问题,以硅片为例,如果室内相对湿度超过50%,空气中的水分子就会把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面,使之难以清除。而当相对湿度过低时,同样是硅片,如果室内湿度低于30%时,那么它就会因为静电力的作用使得粒子吸附于表面,难以清除。
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