PC440|PC450 美国Biofore PC440|PC450超声波臭氧仪

紫外臭氧清洗仪（UV/OzoneProCleanerandProCleanerPlus）美国Biofore公司的ProCleaner的产品线提供非常有竞争力的价位，并给研究

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紫外臭氧清洗仪（UV/Ozone ProCleaner™ and ProCleaner™ Plus ）

美国Biofore公司的ProCleaner的产品线提供非常有竞争力的价位，并给研究者提供更多的选择机会。该ProCleaner ™装置的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。UV紫外臭氧清洗过程提供一种简单、经济、快速获得超洁净的表面，去除大多数无机基材（比如石英、硅片、金属、玻璃、云母、石英、陶瓷、聚合物等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。要获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗机处理几分钟就可以了。

ProCleaner紫外臭氧清洗仪的特点:：

1、间歇式灯泡工作方式。灯和定时器通过关闭门来触发

2、低压石英水银蒸汽灯发射254nm和185nm UV，促进快速氧化，去除微量的有机残留物。

3、UV保护让设备操作更安全

4、操作简单：设定定时器，打开门，抽出托盘，将元件放在托盘上。将托盘滑入并关闭门

5、为实验室节省开支，使探针和样品可重新使用

6、坚固耐用，结构紧凑(体积小)

7、低压石英水银蒸汽灯发射254nm和185nm UV，促进快速氧化，去除微量的有机残留物。

8、室温操作

ProCleaner紫外臭氧清洗仪，应用领域：

·预处理表面图案化工具

·清洁硅和氮化硅探针

·晶圆清洗

·表面氧化及制备

·提高表面亲水性

·表面清洗

·制备薄膜沉积

·紫外光固化

·表面图案化

·清洗光学镜头

·粘接硅橡胶

·表面消毒

·清洁MEMS器件 

     技术参数：

型号	PC440	PC450
光照尺寸	4" x 4" （101.6×101.6mm）
有效面积:	16 sq. in.
工作区域:	5" x 5"x1"
滑行托盘:	1
定时器:	机械定时	机械定时

紫外臭氧清洗工作原理：

ProCleaner紫外臭氧清洗仪的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2,H2O等。整个过程在室温中进行，并且只需要1到几分钟完成。

*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。

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