型号：MHY-18316
用于测量毛细管或其它小孔零件的流通能力。
流量测量范围：0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM
流量测量范围：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）
压力测量范围：0~1.5 MPa
压力测量精度：0.1%FS
系统单点漏率：1×10-7SCCS He
供电电源：~220VAC±10%
zui大功耗：15 W
外形尺寸：440×260×260mm
重量：8 Kg
