氦检漏仪

INFICON UL1000氦检漏仪的详细资料：
   UL1000符合微电子工业生产的要求。从坚固的金属外壳到方便移动的滚轮，至I·CAL, 用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长平衡时间的运算法则，都无不显示了其无与伦比的优越性。 系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。   UL1000具有可转动的控制界面，装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息，这样可远距离方便地观察读值。通过E-MAIL更新软件，新的固件可通过标准接口在数分钟内完成安装。   
应用：半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有涡轮分子泵工艺气体系统的检测与安装元器件在组装前的漏率测试要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合
技术参数
最小可检漏率（按AVS2.1和EN1518标准）＜5×10-12mbar.l/s最小可检漏率（吸枪模式）＜3×10-8mbar.l/s入口压强                粗检模式                        精检模式                        超精检模式15 mbar2 mbar0.4 mbar抽泵抽速16-25立方米/小时氦气抽速（进气口处）    粗检模式                        精检模式                        超精检模式8 升/秒7升/秒2.5升/秒可检质量数2、3、4amu, 氢，3氦，氦电源电压110－120V；220－240V重量110公斤；242磅尺寸，包括手把（长×宽×高）1068×525×850毫米