型号:HHD3-Cressington 108A 全自动离子溅射镀膜仪 库号：D346248

全自动离子溅射镀膜仪 库号：D346248

东方化玻（北京）科技有限公司成立于 2014 年，是实验设备、平台综合解决方案提供商。公司为国内企事业单位 提供高品质仪器仪表，实验设备以及整体解决方案。 公司与国内外多家世界生产商已建立长期合作关系。公司经营产品广泛，灵活满足不同事业单位和企业客户的差异化需求 以及快速创新的追求，产品故障率低，维护成本小，性能优异，售后服务完善。公司产品在行业内均拥有持续的应用历史并 经过市场实际应用检验。 坚持以持续技术创新为客户不断创造价值为经营理念，公司在产品研发方面投入比例逐年递增，目前自主研发并投入市场 的产品已达十余种，长期以来，公司一直按照标准，搭建实验室平台，构建高品质、高标准、持续创新的发展体系。 坚持稳步发展的管理理念，不断刷新自己在业内的记录。

全自动离子溅射镀膜仪 库号：D346248
全自动离子溅射镀膜仪 库号：D346248
全自动离子溅射镀膜仪 库号：D346248
技术参数：

1.样品仓尺寸： 120mm x 120mm，高强度不锈钢玻璃结构；

2.样品台：可放置12个标准SEM样品座，可调高度优于 50mm；

3.溅射头：低电压平面磁控管，靶材换快速，环绕暗区护罩；

4.溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空联锁装置，大180A，配有过流保护；

5.溅射控制：微处理器控制，互锁，可调，大电流40mA，程序化数字控制；

6.靶材可选：Au、Pt、Ag、Cr、Cu、Fe等；

7.镀膜均匀性好，电流回路控制，低压直流冷态溅射镀膜，避免样品微纳结构热损伤；

8.真空系统：真空值优于10-3mbar，机械泵抽速可达4.0m3/h

9.电源：200-240 VAC, 50/60Hz

样品仓尺寸 120 mm x 120mm, 高强度硼硅酸盐钢化玻璃结构 (可选150mm)

样品台 可放置12个SEM样品座，可调高度优于 60mm

溅镀优点 基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空联锁装置，

大180A，配有过流保护

溅射控制 程序化数字控制，恒流设计

溅射头 低电压平面磁控管，靶材换快速，环绕暗区护罩

靶材 标配金或铂，可选金/钯，铂/钯, 银, 铜, 镍, 铁等

溅射速率 优于2.3nm/s (根据不同条件可调)

真空系统 原装真空泵, 降噪减震设计, 10-3mbar真空度

适用配套 Thermo Fisher/FEI, Shimadzu, Carl Zeiss, JEOL, Hitachi, Tescan, Phenom等

电镜和电子探针系统以及电极薄膜制备

序号 名称 描述 数量

1 108A主机 高性能离子溅射镀膜仪是用于扫描电镜非导电样品的镀膜设备。经济紧凑型设计容易操作，提供了快速抽真空时间，镀膜设计和对样品无热损伤。 的互锁技术提供了可灵活设定不会受真空压力影响的溅射电流。 通过一个低压磁控管进行冷态溅射，喷镀。 1

2 靶材 Pt铂靶 1

3 样品仓 120mm x 120mm，高强度硼硅酸盐钢化玻璃结构 1

4 样品台 可放置12个SEM样品台，可调高度为60mm 1

5 操作手册 中/英文操作手册; 1

6 泵 高性能真空泵系统

4m3每小时抽速，10-3mbar真空度，附带减震垫的桌面式设计 1

7 KF16连接装置 全金属连接耦合系统 1

8 油污过滤器 进口高性能油污过滤器 1



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