型号:DF-CXB-4-R4-D-A1-F4 微小气体质量流量控制器/半导体微型气体质量流量计 库号：D328637

微小气体质量流量控制器/半导体微型气体质量流量计 库号：D328637

东方化玻（北京）科技有限公司成立于 2014 年，是实验设备、平台综合解决方案提供商。公司为国内企事业单位 提供高品质仪器仪表，实验设备以及整体解决方案。 公司与国内外多家世界生产商已建立长期合作关系。公司经营产品广泛，灵活满足不同事业单位和企业客户的差异化需求 以及快速创新的追求，产品故障率低，维护成本小，性能优异，售后服务完善。公司产品在行业内均拥有持续的应用历史并 经过市场实际应用检验。 坚持以持续技术创新为客户不断创造价值为经营理念，公司在产品研发方面投入比例逐年递增，目前自主研发并投入市场 的产品已达十余种，长期以来，公司一直按照标准，搭建实验室平台，构建高品质、高标准、持续创新的发展体系。 坚持稳步发展的管理理念，不断刷新自己在业内的记录。

微小气体质量流量控制器/半导体微型气体质量流量计 库号：D328637
微小气体质量流量控制器/半导体微型气体质量流量计 库号：D328637
微小气体质量流量控制器/半导体微型气体质量流量计 库号：D328637
半导体微型气体质量流量计

型号:GFMM-CXB-4-R4-D-A1-F4

量程:0-200SLM Air

耐压:3MPa





用途与特点

质量流量控制器用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、和真空灯多种领域的科研和中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。



主要技术指标

1 量程范围 （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM

（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM

2 准确度 +1.0%F.S

3 线性 +0.5~1.5%F.S

4 重复精度 +0.2%F.S

5 响应时间 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec

6 工作压差 （0.1~0.5）MPa

7 耐压 3MPa

8 工作环境温度 0~70℃

9 数字量 RS485 MODBUS协议

10 模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选

11 供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA

12 电气连接 DB15

13 漏率 1×10-8SCCSHe

14 底座材质 316L不锈钢

15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶

16 气路接头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞





注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.

质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)

标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃);

气压-----101325 Pa （760mm Hg）

F.S (Full Scale); 满量程值



工作原理

气体质量流量控制器的精度、坚固性及性源于我公司的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内


本页产品地址：http://www.geilan.com/sell/show-9520640.html