库号：M354444 质量流量控制器/流量计（配8M网线一根）

质量流量控制器/流量计（配8M网线一根） CS200A气体质量流量控制器，采用传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。

东方化玻（北京）科技有限公司成立于 2014 年，是实验设备、平台综合解决方案提供商。公司为国内企事业单位 提供高品质仪器仪表，实验设备以及整体解决方案。 公司与国内外多家世界生产商已建立长期合作关系。公司经营产品广泛，灵活满足不同事业单位和企业客户的差异化需求 以及快速创新的追求，产品故障率低，维护成本小，性能优异，售后服务完善。公司产品在行业内均拥有持续的应用历史并 经过市场实际应用检验。 坚持以持续技术创新为客户不断创造价值为经营理念，公司在产品研发方面投入比例逐年递增，目前自主研发并投入市场 的产品已达十余种，长期以来，公司一直按照标准，搭建实验室平台，构建高品质、高标准、持续创新的发展体系。 坚持稳步发展的管理理念，不断刷新自己在业内的记录。

质量流量控制器/流量计（配8M网线一根） 
质量流量控制器/流量计（配8M网线一根） 
质量流量控制器/流量计（配8M网线一根） 

CS200A质量流量控制器&流量计
CS200A气体质量流量控制器，采用传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面加岀色。全量程范围内，CS200C产品快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差小化，所需流量加。



• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。

• CS200产品严格按照SEMI标准制造，尺寸符合通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。

• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。

• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的客户端使用软件。

CS200A，甲烷，2SLM，8mm卡套，RS485通讯，大工作压力0.45MPa,压差0.05-0.35MPa

技术参数
 类型： CS200-A
阀类型：常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭
 流量规格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
 (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度：±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性：±0.5% F.S.
重复精度：±0.2% F.S.
响应时间：≤ 1sec
工作压差范围：
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM
 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM，＜0.02 MPa
大工作压力：0.45MPa
温度系数：零点： ≤±0.05% F.S./℃；
 调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM
调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM
耐压强度：3MPa
漏率：1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料：氟橡胶
 工作环境温度：（5～45）℃
输入信号：数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
输出信号：数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂：在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
 电源：±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)
表面化学成分：常态
 表面粗糙度：25 Ra
标准接头形式：
 双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；
 双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头；
φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头;
电源接头形式：D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头

 重量：1 Kg


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