3英寸 钌（Ru）靶材

钌（Ru）靶材是由高纯度钌金属组成的灰色靶。

北京金源新材科技有限公司（Beijing Jinyuan Advanced Materials Technology Co.,Ltd.）坐落于中关村科技园区，是一家专注服务于新材料行业的高新技术企业。这些技术将帮助中国新材料行业用户大幅提高溅射靶材利用率、提高镀膜材料的镀膜效果，研发和生产出高质量的产品。   金源新材科技公司作为中关村科技园区新材料领域具实力的公司之一，通过与科研院所的联合研发和广泛的合作，公司为各科研院所、企业、高校等提供专业优质的溅射靶材、镀膜材料、高纯材料、粉体材料、稀土材料以及蒸发源材料等产品。产品广泛应用于航空航天、太阳能光伏企业、光学镀膜、熔炼、电子信息、半导体集成电路、平板显示、记录介质、工件表面涂层等领域。

钌（Ru）靶材是由高纯度钌金属组成的灰色靶。熔点2334° C  ，密度12.37，热膨胀 6.4 µm /（m·K）。钌溅射靶材有各种形式，纯度，尺寸和价格。我们能够根据您提供给我们的任何规格/图纸提供定制的溅射材料。

钌（Ru）靶材制备工艺流程

备料 - 烧结 - 退火 - 轧制 - 冲压 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗  - 检验 - 包装

钌（Ru）靶材制备方法
将粒度≤325目的钌粉冷压成型，冷压压力为250～350MPa，得到钌坯；将所述钌坯进行抽真空至0.008～0.12Pa后以10～20℃/min升温至790～820℃，保温30～50min后，再以5～10℃/min升温至第一温度加压，加压压力为50～70MPa；继续升温至第二温度，保温120～180min；第一温度为1000～1200℃，第二温度为1200～1350℃；最后以5～8℃/min降温至1000～1100℃，保温55～65min，得到钌溅射靶材。


钌靶材产品优势
耐化学腐蚀、耐摔性、超耐磨、耐高温、防静电、防火性

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