产品简介:产品特点 半导体参数分析仪是一款适用于器件表征的实验室用台式解决方案。Expander 可 将仪器的测量范围扩展至 1A/200V，并为 产品 添加低噪声接地单元和双脉冲发生器。 技术指标 一般特性 用于器件表征的实验室用台式参数分析仪 4x 高分辨率 SMU、2xVSU 和 2xVMU 填空式前面板操作 包括 Desktop EasyEXPERT 软件，可在 PC 上通过 GUI 对仪器进行控制 测量能力 1 fA 和 0.2 mV 测量分辨率 QSCV、强化测试模式、旋钮扫描和待机功能 可提供 +/- 200 V 和 +/- 1 A 大功率 SMU、脉冲发生器功能 Desktop EasyEXPERT 软件 提供直观的、面向任务的参数测试方法 配有 80 多个预定义、用户可修改的应用测试 自动将数据保存到硬盘或任何网络硬盘 通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
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| 型号:RL161342半导体器件分析仪 |
型号:RL161344半导体参数分析仪 |
型号:RL161345半导体参数分析仪 |
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型号:RL161342半导体器件分析仪
产品特点
半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的化仪器，可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉
冲测量。它采用常见的 Microsoft ® Windows ® 用户界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 软
件。该软件为器件表征提供更直观的、面向任务的新方法。Agilent B1500A 具有的低电流、
低电压和集成电容测量能力，因此可满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持）。它还是一
款用于非易失存储单元表征和高速器件表征（包括 NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量）的出色
解决方案。
应用主题
现已提供有关太阳能电池表征的新应用指南和示例程序。
信息
它支持 3 类 SMU 和 ASU，以执行超测量。有关 SMU 的更多信息，请参见本页的选型
指南。
它（HV-SPGU：高电压――半导体脉冲发生器单元）可提高闪存测试的吞吐量。
（WGFMU：波形发生器和快速测量单元）可帮助您执行以前无法进行的关键脉冲测量。
提供各种脉冲解决方案。的安捷伦选型指南可帮助您选择zui适合您应用的解决方案。更多信
息，请访问 安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。 EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT
不但可以帮助您提高测量效率，而且还可提供易于使用的测试环境。更多信息，请访问
EasyEXPERT 页面。
安捷伦低泄漏开关矩阵系列能够灵活地生成自动化测量解决方案，而不会影响测量性能。更多信
息，请访问 开关矩阵系列页面。
特性和
优异的 IV 测量性能：0.1 fA / 0.5 µV 测量分辨率
- 测量特性包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、直接控制
和针对 HV-SPGU 的任意线性波形生成（ALWG）GUI。
可选的集成电容支持高达 5 MHz 的 CV 测量
基于的可选 CV-IV 开关解决方案提供 0.5 µV 的电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1
fA 的电流测量分辨率能力
使用内置半自动晶圆驱动程序可轻松自动完成测试；在快速测试模式下，用户无需编程即可排
列测试顺序
可选的高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可编程脉冲宽度和 +/- 40 V
（80 V 峰峰值）输出
可选的波形发生器/快速测量单元（WGFMU）提供 ALWG 和快速电流或电压测量能力
10 ns 脉冲 IV 解决方案，用于表征高 k 栅电介质和 SOI（缘硅）晶体管
典型测试模式可提供 4155/4156 界面的外观、风格和术语，同时通过充分利用 Microsoft ®
Windows ® GUI 特性可加强用户交互
技术指标
一般特性
基于 PC 的仪器，具有 Windows ® XP Professional 操作系统
针对电流－电压（IV）、电容－电压（CV）、脉冲生成、快速 IV和时域测量的综合解决方案。
用于电源监测单元（SMU）和其他类型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 个插
槽
通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
测量能力
支持 0.1fA 和 0.5µV 电流－电压（IV）测量
支持准静态和中频电容－电压（CV）测量
支持的快速 IV 和时域测量，适用于各种应用，例如脉冲 IV、NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测
量。
支持用于大功率和存储器测试的高电压脉冲生成（高达 &plun;40 V）功能。
半导体分析仪
半导体器件分析仪
型号:RL161344半导体参数分析仪
产品特点
半导体参数分析仪是一款经济、、适用于器件表征的实验室用台式解决方案。
Expander 可将仪器的测量范围扩展至 1A/200V，并为添加低噪声接地单元和双脉冲发生器。
您还可以通过 PC 使用 Desktop EasyEXPERT 软件控制参数分析仪。随该产品一起提供的新版
Agilent Desktop EasyEXPERT 软件也可控制参数分析仪。
技术指标
一般特性
经济、的实验室用台式参数分析仪
4x 中等功率 SMU、2xVSU 和 2xVMU
填空式前面板操作
包括 Desktop EasyEXPERT 软件，可在 PC 上通过 GUI 对仪器进行控制
测量能力
10 fA 和 0.2 mV 测量分辨率
QSCV、强化测试模式、旋钮扫描和待机功能
可提供 +/- 200 V 和 +/- 1 A 大功率 SMU、脉冲发生器功能
Desktop EasyEXPERT 软件
提供直观、面向任务的参数测试方法
配有 80 多个预定义、用户可修改的应用测试
自动将数据保存到硬盘或任何网络硬盘
通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
半导体分析仪
半导体参数分析仪
型号:RL161345半导体参数分析仪
产品特点
半导体参数分析仪是一款适用于器件表征的实验室用台式解决方案。Expander 可
将仪器的测量范围扩展至 1A/200V，并为 产品 添加低噪声接地单元和双脉冲发生器。
技术指标
一般特性
用于器件表征的实验室用台式参数分析仪
4x 高分辨率 SMU、2xVSU 和 2xVMU
填空式前面板操作
包括 Desktop EasyEXPERT 软件，可在 PC 上通过 GUI 对仪器进行控制
测量能力
1 fA 和 0.2 mV 测量分辨率
QSCV、强化测试模式、旋钮扫描和待机功能
可提供 +/- 200 V 和 +/- 1 A 大功率 SMU、脉冲发生器功能
Desktop EasyEXPERT 软件
提供直观的、面向任务的参数测试方法
配有 80 多个预定义、用户可修改的应用测试
自动将数据保存到硬盘或任何网络硬盘
通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
半导体分析仪
半导体参数分析仪
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